中古 アングルバルブ(空圧弁)
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記:
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空配管システムにおいて流体の制御や遮断を行う、空圧作動式(常時閉/N.C.)の高真空L型バルブ(アングルバルブ)です。
ハウジングには軽量で熱伝導性に優れたアルミニウム合金を採用しており、コンパクトな設計ながら、優れた放出ガス特性と高い排気効率を両立しています。
内部のシール機構には金属製ベローズを採用しており、摺動部からの発塵を抑えたクリーンな構造と、200万回におよぶ高い開閉耐久性を備えています。
本製品は150℃までの温度に対応する高温仕様(ヒータなし)に区分されており、ベーキングが必要な真空装置の排気ラインや、反応副生成物の固着を防ぐために高温維持が求められるプロセス配管への組み込みに適しています。
【AIによる参考仕様】
・作動方式:空圧式 常時閉(N.C.)スプリングリターン形
・バルブサイズ(フランジサイズ):16(KF16 / NW16)
・弁形式:ベローズシール形
・本体材質:アルミニウム合金
・ベローズ材質:ステンレス鋼316L
・シール材質(Oリング):FKM(フッ素ゴム)
・使用流体:真空、不活性ガス
・使用圧力範囲:1×10^-5 Pa 〜 0.1 MPa(絶対圧)
・許容漏れ量(常温):
- 外部:1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下(He漏れ量、ガス透過を除く)
- 弁座:1.3×10^-9 Pa・m³/s 以下(He漏れ量、ガス透過を除く)
・コンダクタンス:5 L/s
・使用温度範囲:5℃ 〜 150℃(高温仕様、ヒータなし)
・操作空気圧力(作動圧力):0.4 〜 0.6 MPa
・操作空気接続口径:M5 × 0.8
・製品質量:約0.28 kg
本装置は、真空配管システムにおいて流体の制御や遮断を行う、空圧作動式(常時閉/N.C.)の高真空L型バルブ(アングルバルブ)です。
ハウジングには軽量で熱伝導性に優れたアルミニウム合金を採用しており、コンパクトな設計ながら、優れた放出ガス特性と高い排気効率を両立しています。
内部のシール機構には金属製ベローズを採用しており、摺動部からの発塵を抑えたクリーンな構造と、200万回におよぶ高い開閉耐久性を備えています。
本製品は150℃までの温度に対応する高温仕様(ヒータなし)に区分されており、ベーキングが必要な真空装置の排気ラインや、反応副生成物の固着を防ぐために高温維持が求められるプロセス配管への組み込みに適しています。
【AIによる参考仕様】
・作動方式:空圧式 常時閉(N.C.)スプリングリターン形
・バルブサイズ(フランジサイズ):16(KF16 / NW16)
・弁形式:ベローズシール形
・本体材質:アルミニウム合金
・ベローズ材質:ステンレス鋼316L
・シール材質(Oリング):FKM(フッ素ゴム)
・使用流体:真空、不活性ガス
・使用圧力範囲:1×10^-5 Pa 〜 0.1 MPa(絶対圧)
・許容漏れ量(常温):
- 外部:1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下(He漏れ量、ガス透過を除く)
- 弁座:1.3×10^-9 Pa・m³/s 以下(He漏れ量、ガス透過を除く)
・コンダクタンス:5 L/s
・使用温度範囲:5℃ 〜 150℃(高温仕様、ヒータなし)
・操作空気圧力(作動圧力):0.4 〜 0.6 MPa
・操作空気接続口径:M5 × 0.8
・製品質量:約0.28 kg
