中古機 アングルバルブ Vat製、型式26432-KA01-0001/0384のご紹介

古物商許可 山梨県公安委員会許可番号 第471121800039号
アイアールシー株式会社

中古 アングルバルブ

メーカー名

Vat

型式

26432-KA01-0001/0384

年式表記:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
26432-KA01-0001/0384の在庫写真
26432-KA01-0001/0384の名盤写真
【AIによる装置概要】
真空システムにおいて、排気ラインの遮断や制御に用いられる空圧作動式のアルミニウム製アングルバルブです。本体材質に軽量なアルミニウム合金、稼動部にはパーティクルの発生が少ないステンレス鋼製のベローズシールを採用しており、高真空領域である1×10^-8 mbarから1.2 bar(絶対圧)までの幅広い圧力環境に対応します。

作動方式は単動式の空圧アクチュエータ(ノーマルクローズ)を搭載しています。4〜8 barの圧縮空気を供給することでバルブが開き、空気圧の供給停止時や動力喪失時には内蔵スプリングによって自動的に閉鎖されるフェイルセーフ構造を備えています。フランジサイズはISO-KF40(DN40)規格に準拠しており、分子流領域におけるコンダクタンスは約45 L/sを確保し、効率的な排気を実現します。また、メインシールには耐久性に優れたFKM(フッ素ゴム)が使用されています。

ボディおよびバルブシートのリークレートは1×10^-9 mbar・L/s未満に抑えられており、クリーンかつ高精度な真空環境の維持に貢献します。初回メンテナンスまでの耐久動作回数は約300万回と長寿命であり、バルブ開閉時間も約0.1秒と高速なため、半導体製造装置や研究用真空チャンバーにおける排気ラインの制御用コンポーネントとして安定した運用が可能です。

【AIによる参考仕様】
作動方式:空圧式(単動式・スプリングリターン・ノーマルクローズ)
フランジ規格:ISO-KF40 (DN40)
本体材質:アルミニウム合金
稼動部シール機構:ステンレス鋼製ベローズ
Oリング材質:FKM(フッ素ゴム)
動作圧力範囲:1×10^-8 mbar ~ 1.2 bar(絶対圧)
リークレート(ボディおよびシート):1×10^-9 mbar・L/s 未満
コンダクタンス(分子流):45 L/s
駆動用圧縮空気圧:4 ~ 8 bar
バルブ開閉時間:約0.1秒
許容ベーキング温度(ボディ):最大 150 ℃
許容ベーキング温度(アクチュエータ):最大 120 ℃
耐久動作サイクル(初回メンテナンスまで):約3,000,000回