中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空ラインにおける配管経路の遮断および開放を行う空気圧駆動式のアングルバルブ（L型バルブ）です。シャフト部のシールにベローズを使用せず、フッ素ゴム（FKM）による「Oリングシール方式」を採用している点が特徴です。これにより、ベローズの金属疲労に伴う破損トラブルを回避し、高い耐久性とメンテナンスの容易性を実現しています。
作動方式は空気圧によって開き、内蔵スプリングによって閉じる「単動・引バネ（常時閉：NC）」タイプです。また、本モデルは最高使用温度150℃に対応した高温仕様（ヒーターなし）となっており、一般的な標準モデル（5〜60℃）と比較して、熱負荷のかかる真空プロセスや、ベーキングを伴う排気ラインにおいて安定したシール性を発揮します。主要構造部に軽量なアルミニウム合金を使用しており、装置全体の軽量化と省スペース化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空気圧作動式（単動・引バネ／常時閉：NC）
・接続フランジサイズ：KF16（NW16）
・シャフトシール方式：Oリングシールタイプ（ベローズレス）
・バルブ開コンダクタンス：5 L/s
・動作圧力範囲（絶対圧）：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.16 MPa
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ヘリウム法）
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ヘリウム法、差圧0.1 MPa時）
・使用温度範囲：5 〜 150℃（高温仕様、ヒーターなし）
・操作圧力（パイロット空気）：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・主要部材質：アルミニウム合金（ボディ）、FKM（シール・Oリング部）
・本体質量：約0.28 kg
本装置は、高真空ラインにおける配管経路の遮断および開放を行う空気圧駆動式のアングルバルブ（L型バルブ）です。シャフト部のシールにベローズを使用せず、フッ素ゴム（FKM）による「Oリングシール方式」を採用している点が特徴です。これにより、ベローズの金属疲労に伴う破損トラブルを回避し、高い耐久性とメンテナンスの容易性を実現しています。
作動方式は空気圧によって開き、内蔵スプリングによって閉じる「単動・引バネ（常時閉：NC）」タイプです。また、本モデルは最高使用温度150℃に対応した高温仕様（ヒーターなし）となっており、一般的な標準モデル（5〜60℃）と比較して、熱負荷のかかる真空プロセスや、ベーキングを伴う排気ラインにおいて安定したシール性を発揮します。主要構造部に軽量なアルミニウム合金を使用しており、装置全体の軽量化と省スペース化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：空気圧作動式（単動・引バネ／常時閉：NC）
・接続フランジサイズ：KF16（NW16）
・シャフトシール方式：Oリングシールタイプ（ベローズレス）
・バルブ開コンダクタンス：5 L/s
・動作圧力範囲（絶対圧）：1.3 × 10⁻⁶ Pa 〜 0.16 MPa
・外部リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ヘリウム法）
・弁座リーク量：1.3 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温、ヘリウム法、差圧0.1 MPa時）
・使用温度範囲：5 〜 150℃（高温仕様、ヒーターなし）
・操作圧力（パイロット空気）：0.4 〜 0.6 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・主要部材質：アルミニウム合金（ボディ）、FKM（シール・Oリング部）
・本体質量：約0.28 kg