中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体やFPD、ソーラーセル製造をはじめとする各種真空装置の排気ラインに最適化された、空圧駆動式の高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。配管接ガス部および本体ボディには、耐食性に優れガスの放出が極めて少ないステンレス（SUS304）を採用しています。さらに、摺動部のシール機構には耐久性の高い金属ベローズ（SUS316L）を搭載しており、バルブ開閉動作時の微粒子（発塵）の発生を最小限に抑え、クリーンな高真空環境を維持します。
作動方式は空圧による単動式（スプリングリターン・常時閉 N.C.仕様）となっており、万が一の停電や空圧源の喪失時にも自動的に閉状態へ移行する安全性の高い機構を備えています。ヒータ等の加熱オプションを搭載しない常温仕様（5〜60℃）の設計となっており、省スペースで信頼性の高い真空遮断・排気制御をサポートします。
【AIによる参考仕様】
* **作動方式**: 単動（スプリングリターン）N.C.（常時閉）
* **フランジサイズ**: KF16 (NW16)
* **コンダクタンス**: 5 L/s
* **使用圧力範囲**: 1.3 × 10^-6 Pa(abs) ～ 大気圧
* **外部リーク量**: 1.3 × 10^-11 Pa・m³/s以下（常温、ガス透過を除く）
* **弁座リーク量**: 1.3 × 10^-11 Pa・m³/s以下（常温、ガス透過を除く）
* **使用温度範囲**: 5 ～ 60℃
* **作動空気圧力**: 0.4 ～ 0.6 MPa
* **作動空気接続口径**: M5 × 0.8
* **主要部材質**:
* ボディ：SUS304
* ベローズ：SUS316L
* 弁座シール: FKM（フッ素ゴム）
* **質量**: 0.28 kg
本装置は、半導体やFPD、ソーラーセル製造をはじめとする各種真空装置の排気ラインに最適化された、空圧駆動式の高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。配管接ガス部および本体ボディには、耐食性に優れガスの放出が極めて少ないステンレス（SUS304）を採用しています。さらに、摺動部のシール機構には耐久性の高い金属ベローズ（SUS316L）を搭載しており、バルブ開閉動作時の微粒子（発塵）の発生を最小限に抑え、クリーンな高真空環境を維持します。
作動方式は空圧による単動式（スプリングリターン・常時閉 N.C.仕様）となっており、万が一の停電や空圧源の喪失時にも自動的に閉状態へ移行する安全性の高い機構を備えています。ヒータ等の加熱オプションを搭載しない常温仕様（5〜60℃）の設計となっており、省スペースで信頼性の高い真空遮断・排気制御をサポートします。
【AIによる参考仕様】
* **作動方式**: 単動（スプリングリターン）N.C.（常時閉）
* **フランジサイズ**: KF16 (NW16)
* **コンダクタンス**: 5 L/s
* **使用圧力範囲**: 1.3 × 10^-6 Pa(abs) ～ 大気圧
* **外部リーク量**: 1.3 × 10^-11 Pa・m³/s以下（常温、ガス透過を除く）
* **弁座リーク量**: 1.3 × 10^-11 Pa・m³/s以下（常温、ガス透過を除く）
* **使用温度範囲**: 5 ～ 60℃
* **作動空気圧力**: 0.4 ～ 0.6 MPa
* **作動空気接続口径**: M5 × 0.8
* **主要部材質**:
* ボディ：SUS304
* ベローズ：SUS316L
* 弁座シール: FKM（フッ素ゴム）
* **質量**: 0.28 kg