中古 アングルバルブ（空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XMA-16H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空プロセスラインでの使用に適したステンレス製のエアオペレート式高真空L型バルブ（常時閉：NCタイプ）です。接ガス部およびベローズに耐食性に優れたステンレス（SUS316L）を採用しており、不純物の放出を最小限に抑え、クリーンな真空環境を維持します。
本モデルは、バルブ本体を最大150℃の高温環境下で使用できる高温対応仕様（ヒータなし）となっており、配管の加熱（ベーキング）が必要なプロセスラインや、ガス結露・生成物の付着を防ぎたい真空排気系に最適です。接続フランジには汎用性の高いKF16（NW16）を採用しており、半導体・FPD製造装置、真空蒸着装置、分析装置など、高度な真空管理が求められる設備に幅広く対応します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：エアオペレート形（常時閉：NC / スプリングリターン）
・フランジサイズ：KF16（NW16相当）
・ボディ・ベローズ材質：SUS316L
・シール材質：FKM（フッ素ゴム）
・仕様区分：高温仕様（150℃対応、ヒータなし）
・使用流体：不活性ガス（真空）
・使用温度範囲：バルブ本体 5〜150℃ / 操作部 5〜150℃（※オートスイッチなしの場合）
・作動圧力範囲：1.0 × 10^-6 Pa 〜 大気圧（0.1 MPa）
・操作圧力（パイロット圧）：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・排気コンダクタンス：5 L/s
・リークレート（外部）：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・リークレート（弁座）：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・概略質量：約0.53 kg
本装置は、高真空プロセスラインでの使用に適したステンレス製のエアオペレート式高真空L型バルブ（常時閉：NCタイプ）です。接ガス部およびベローズに耐食性に優れたステンレス（SUS316L）を採用しており、不純物の放出を最小限に抑え、クリーンな真空環境を維持します。
本モデルは、バルブ本体を最大150℃の高温環境下で使用できる高温対応仕様（ヒータなし）となっており、配管の加熱（ベーキング）が必要なプロセスラインや、ガス結露・生成物の付着を防ぎたい真空排気系に最適です。接続フランジには汎用性の高いKF16（NW16）を採用しており、半導体・FPD製造装置、真空蒸着装置、分析装置など、高度な真空管理が求められる設備に幅広く対応します。
【AIによる参考仕様】
・作動方式：エアオペレート形（常時閉：NC / スプリングリターン）
・フランジサイズ：KF16（NW16相当）
・ボディ・ベローズ材質：SUS316L
・シール材質：FKM（フッ素ゴム）
・仕様区分：高温仕様（150℃対応、ヒータなし）
・使用流体：不活性ガス（真空）
・使用温度範囲：バルブ本体 5〜150℃ / 操作部 5〜150℃（※オートスイッチなしの場合）
・作動圧力範囲：1.0 × 10^-6 Pa 〜 大気圧（0.1 MPa）
・操作圧力（パイロット圧）：0.4 〜 0.7 MPa
・操作ポート接続口径：M5 × 0.8
・排気コンダクタンス：5 L/s
・リークレート（外部）：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・リークレート（弁座）：1.3 × 10^-10 Pa・m³/s 以下（常温、ガス透過を除く）
・概略質量：約0.53 kg