中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスNH3 流量500SCCM
W125 D33 H150 - 管理番号
- Z21080346
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D33 H150 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※性能値は社内保管の取扱説明書「MASS FLOW CONTROLLER FC-770/780 Series(日本アエラ)」の仕様表から転記した型式一般の値。
※オプションで電流モードと異常検知機能がある(FC-770A系は異常検知機能が標準装備)。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。
出典: メーカー資料
Tylan FC-780C の装置概要 AIによる記述です
ガス供給ラインに組み込み、流れるガスの質量流量を計測しながら内蔵の制御バルブで設定値に合わせて流量を調整するマスフローコントローラーです。バルブはノーマリクローズ形式、外部シール材はメタルです。外部リークレートは1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下とされ、半導体製造などで特殊材料ガスを扱うガスラインでの使用を想定した構成です。
フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLM、流量制御範囲はフルスケールの2〜100%です。精度は±1%以下、直線性は±0.5%以下、繰り返し性は±0.2%以下(いずれもフルスケールに対して)、応答性はフルスケールの±2%まで1秒以内です。動作差圧は29〜294kPa(d)、最大動作圧力は490kPa(g)、耐圧力は981kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。流量設定と流量出力はいずれも0〜5VDCの信号で扱います。電源は+15VDCと-15VDCで、バルブを強制的に開・閉する端子を備えます。
校正ガス以外で使う場合は、換算係数による補正が必要です。電流モードと異常検知機能はオプションです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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