中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Unit
型式UFC-1100
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:100SCCM
仕様:ガス:N2 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセス、研究開発設備、各種産業用ガス供給ラインにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御するために設計されたアナログ方式の熱式マスフローコントローラーです。温度や圧力の変動に左右されず、気体の分子数を直接カウントする質量流量計測方式を採用しています。
本個体は窒素（N2）ガス専用に調整・校正されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）までの微小流量域に対応します。制御用のアナログインターフェースは標準的な0〜5 VDCの電圧信号に対応し、高い再現性と安定した応答特性を発揮します。シール部には耐化学薬品性に優れたエラストマー材が採用されており、プロセスの高クリーン化と微小流量制御の安定化を両立する高信頼設計となっています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：窒素（N2）
* **フルスケール（最大）流量**：100 SCCM
* **流量制御範囲**：2%〜100% of Full Scale（2〜100 SCCM）
* **流量測定方式**：熱式質量流量計測方式
* **精度（Accuracy）**：±1.0% of Full Scale
* **直線性（Linearity）**：±0.5% of Full Scale
* **再現性（Repeatability）**：±0.2% of Full Scale
* **応答時間**：2.0秒以下（フルスケールの±2%以内への到達時間）
* **動作差圧範囲**：10〜40 psid（約70〜275 kPa）
* **最大動作圧力**：500 psig（約3.45 MPa）
* **外部リーク特性**：1 × 10⁻⁹ atm cc/sec（He）以下
* **シール材質**：エラストマー（Viton / バイトン）
* **入出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **動作電源**：+15 VDC（±5%）および -15 VDC（±5%）
* **動作温度範囲**：5℃〜45℃
本装置は、半導体製造プロセス、研究開発設備、各種産業用ガス供給ラインにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御するために設計されたアナログ方式の熱式マスフローコントローラーです。温度や圧力の変動に左右されず、気体の分子数を直接カウントする質量流量計測方式を採用しています。
本個体は窒素（N2）ガス専用に調整・校正されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）までの微小流量域に対応します。制御用のアナログインターフェースは標準的な0〜5 VDCの電圧信号に対応し、高い再現性と安定した応答特性を発揮します。シール部には耐化学薬品性に優れたエラストマー材が採用されており、プロセスの高クリーン化と微小流量制御の安定化を両立する高信頼設計となっています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：窒素（N2）
* **フルスケール（最大）流量**：100 SCCM
* **流量制御範囲**：2%〜100% of Full Scale（2〜100 SCCM）
* **流量測定方式**：熱式質量流量計測方式
* **精度（Accuracy）**：±1.0% of Full Scale
* **直線性（Linearity）**：±0.5% of Full Scale
* **再現性（Repeatability）**：±0.2% of Full Scale
* **応答時間**：2.0秒以下（フルスケールの±2%以内への到達時間）
* **動作差圧範囲**：10〜40 psid（約70〜275 kPa）
* **最大動作圧力**：500 psig（約3.45 MPa）
* **外部リーク特性**：1 × 10⁻⁹ atm cc/sec（He）以下
* **シール材質**：エラストマー（Viton / バイトン）
* **入出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **動作電源**：+15 VDC（±5%）および -15 VDC（±5%）
* **動作温度範囲**：5℃〜45℃