中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、マグネトロンスパッタリング装置をはじめとする真空薄膜形成プロセス向けに設計された直流（DC）電源です。真空チャンバー内のターゲットに対して安定した電力を供給し、プラズマ放電を維持するための要となるユニットです。プロセス条件に合わせて最適な制御が可能なように、定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）の3つの制御モードを搭載しており、再現性の高い成膜レートの維持に貢献します。

スパッタリングプロセスにおいて成膜品質の低下やターゲットの損傷を招く原因となるアーキング（異常放電）に対しては、高速なアーク検知および遮断・自動復帰機能を備えています。これにより、異常放電発生時のエネルギー放出を最小限に抑え、パーティクルの発生を低減します。

フロントパネルには視認性に優れたデジタルメーターが配置されており、出力中の電圧、電流、電力をリアルタイムで正確にモニタリング可能です。また、アナログ電圧（0-10V）や接点信号による外部制御インターフェースを標準装備しているため、PLCや真空コントローラーと連携したシステムの自動化、既存の真空装置への組み込み・レトロフィットも容易に行えます。研究開発用デバイスの試作から、中規模の生産プロセスまで、長時間の連続稼働でも高い信頼性を発揮する産業用電源です。

【AIによる参考仕様】
・制御方式：定電力制御（CP）、定電流制御（CC）、定電圧制御（CV）切替式
・入力電源：三相 AC200V ±10% , 50/60Hz
・最大出力電圧：DC 1000Vクラス（無負荷時・最大出力時）
・最大出力電流 / 電力：定格仕様に準ずる（※型式「028」に基づく2.8A / 2.8kWクラス相当）
・アーク対策機能：ハードアーク検知、高速出力遮断および自動復帰タイマー内蔵
・フロントパネル表示：出力電圧（V）、出力電流（A）、出力電力（W/kW）デジタルLED表示
・外部制御インターフェース：
　- 出力設定・モニター：DC 0～10V アナログ信号
　- 動作制御：リモートON/OFF、インターロック接点入力
　- ステータス出力：異常警報（アラーム）、運転準備完了信号など
・冷却方式：内蔵ファンによる強制空冷
・保護機能：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、過熱保護（OHP）、冷却ファン異常検知
・使用環境条件：周囲温度 0～40℃ / 湿度 85%RH以下（結露なきこと）

※本仕様は同シリーズの標準的なDCマグネトロンスパッタ用電源のデータに基づくAIによる概略仕様です。実際の製品仕様（オプション有無やカスタマイズ等）は、実機の銘板や搭載コネクタのピンアサインにて最終確認をお願いいたします。