中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
スパッタ装置のターゲットに負の直流電圧をかけてプラズマを立てる、スパッタ用のDC電源。高周波スイッチング方式で、放電中に起きる異常放電(アーク)を消す機能を持ち、アークによる膜の欠陥やターゲットの傷みを抑える。
定格出力電圧は700V(平均値、負極性)、定格出力電流は5.56A、最大定格出力電力は2.5kW。最大無負荷電圧は1200V(出荷時は1000V)。制御モードは定電流・定電圧・定電力から選ぶ。交流入力は三相180〜242V 50/60Hzで、受電容量は3.3kVA以上が要る。力率・効率はともに約90%(定格の入出力条件)、冷却は前面から吸気する強制風冷。瞬時の停電には10msまで出力を保つ。
外部制御として、非常停止(J721)、リモートコントロール(J719)、コントローラの外部設置(J712、最長5m)、積算電力の出力(J713)のコネクタを持つ。値は社内保管の取扱説明書の総合仕様による。
【AIによる参考仕様】
・種別：スパッタ用DC電源(高周波スイッチング方式、アーク消弧機能付)
・定格出力電圧：700(平均値、負極性) V
・定格出力電流：5.56 A
・最大定格出力電力：2.5 kW
・最大無負荷電圧：1200(出荷時1000) V
・制御モード：定電流 / 定電圧 / 定電力
・交流入力：三相 180〜242V 50/60Hz、受電容量3.3kVA以上
・力率・効率：約90% / 約90%(定格入出力条件)
・冷却：強制風冷(前面吸気)
・外部制御：非常停止 J721、リモートコントロール J719、コントローラ外部設置 J712(最長5m)、積算電力出力 J713
・瞬時停電出力保持：10 ms
※値は社内保管の取扱説明書(VT-395-056)2.1 総合仕様から。寸法・質量は読めた範囲に無い。