中古 DC電源
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式PDC-028
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空成膜装置（主に直流マグネトロンスパッタリング装置）において、安定したプラズマ放電を発生および維持するために設計された専用の直流（DC）電源です。金属ターゲットを用いた成膜プロセスに最適化されており、チャンバー内の真空度やプラズマインピーダンスの変動に対しても、定電力（CP）、定電圧（CV）、定電流（CC）の各モードによる精密なフィードバック制御を行い、安定した出力を供給します。
成膜プロセス中に発生しやすい異常放電（アーク放電）を瞬時に検知し、出力をミリ秒単位で遮断した後に高速で自動復帰させるアーク抑制回路（アークハンドリング機能）を搭載しています。これにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル付着を最小限に抑え、欠陥の少ない高品質な薄膜形成を実現します。
また、外部の真空排気系システムやシーケンサーと連動させるための各種インターロック機能（過電流保護、過電圧保護、冷却異常検知など）を標準で備えており、長時間の連続運転においても高い安全性を確保しています。研究開発用途の実験装置から、バッチ式・枚葉式の生産向けスパッタリング装置まで、幅広い真空設備の直流プラズマ源として組み込まれる信頼性の高い電源ユニットです。
【AIによる参考仕様】
・電源タイプ：直流（DC）スパッタリング用電源
・制御方式：定電力（CP）、定電圧（CV）、定電流（CC）制御
・入力電源：三相 AC200V ±10%（50/60Hz）
・最大出力電圧：DC 0 ～ -1000 V（カソードマイナス極性）
・最大出力電流：2.8 A
・定格出力電力：2.8 kW
・アーク遮断時間：1 msec 以下
・リップル率：3% rms 以下（定格出力時）
・冷却方式：強制空冷
・保護機能（インターロック）：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、内部温度異常検知（OH）、外部インターロック入力
・使用環境温度：5℃ ～ 40℃
・使用環境湿度：85% 以下（結露なきこと）
・出力インターフェース：アナログI/Oおよび接点信号による外部制御対応
本装置は、真空成膜装置（主に直流マグネトロンスパッタリング装置）において、安定したプラズマ放電を発生および維持するために設計された専用の直流（DC）電源です。金属ターゲットを用いた成膜プロセスに最適化されており、チャンバー内の真空度やプラズマインピーダンスの変動に対しても、定電力（CP）、定電圧（CV）、定電流（CC）の各モードによる精密なフィードバック制御を行い、安定した出力を供給します。
成膜プロセス中に発生しやすい異常放電（アーク放電）を瞬時に検知し、出力をミリ秒単位で遮断した後に高速で自動復帰させるアーク抑制回路（アークハンドリング機能）を搭載しています。これにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル付着を最小限に抑え、欠陥の少ない高品質な薄膜形成を実現します。
また、外部の真空排気系システムやシーケンサーと連動させるための各種インターロック機能（過電流保護、過電圧保護、冷却異常検知など）を標準で備えており、長時間の連続運転においても高い安全性を確保しています。研究開発用途の実験装置から、バッチ式・枚葉式の生産向けスパッタリング装置まで、幅広い真空設備の直流プラズマ源として組み込まれる信頼性の高い電源ユニットです。
【AIによる参考仕様】
・電源タイプ：直流（DC）スパッタリング用電源
・制御方式：定電力（CP）、定電圧（CV）、定電流（CC）制御
・入力電源：三相 AC200V ±10%（50/60Hz）
・最大出力電圧：DC 0 ～ -1000 V（カソードマイナス極性）
・最大出力電流：2.8 A
・定格出力電力：2.8 kW
・アーク遮断時間：1 msec 以下
・リップル率：3% rms 以下（定格出力時）
・冷却方式：強制空冷
・保護機能（インターロック）：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、内部温度異常検知（OH）、外部インターロック入力
・使用環境温度：5℃ ～ 40℃
・使用環境湿度：85% 以下（結露なきこと）
・出力インターフェース：アナログI/Oおよび接点信号による外部制御対応