中古 DC電源
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式PDC-028
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
本機は、真空成膜プロセスである直流（DC）スパッタリング装置向けに設計された高圧DC電源です。主に金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリングにおいて、プラズマの安定した発生および維持を行うためのエネルギー供給源として使用されます。
成膜プロセス中に発生しやすい異常放電（マイクロアーク）を高速で検知し、瞬時に出力を遮断・復帰させるアーク抑制（アークカット）機能を備えています。これにより、薄膜へのパーティクル混入やターゲットの損傷を最小限に抑え、高品質な薄膜形成と安定したプロセスの維持に寄与します。
出力制御方式には、プロセス条件に合わせて選択可能な定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）の3つのモードが搭載されており、ターゲット材の消耗状態やプロセス圧力の変動に対しても柔軟な出力調整が可能です。また、外部インターフェースを介したリモート制御にも対応しており、真空装置のメインコントローラーと連動した自動シーケンス制御に組み込むことができます。適切な冷却機構により長時間の連続運転時でも内部温度の上昇を抑制し、安定した電源供給を実現します。研究開発用途からバッチ式の生産プロセスまで、幅広い真空装置で活用できる信頼性の高い電源ユニットです。
【AIによる参考仕様】
・用途：マグネトロンスパッタリング用 直流（DC）電源
・出力制御モード：定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）
・定格入力電源：三相 AC200V ±10% 50/60Hz
・最大出力電力：約 2.8 kW
・出力電圧範囲：DC 0 ～ 1000 V（スパッタ用途向け負極性出力）
・出力電流範囲：DC 0 ～ 3.0 A
・アーク検知・遮断時間：数マイクロ秒～数十マイクロ秒オーダー
・外部制御インターフェース：アナログ入出力（0-10VDC）および接点信号によるリモートコントロール
・冷却方式：強制空冷方式
・動作環境温度範囲：5℃ ～ 40℃
（※上記は同系統シリーズの基本設計に基づく参考仕様です。複数ラインナップが存在するシリーズのため、実際の出力レンジや搭載オプションは個体の仕様銘板や設定によって異なる場合があります。）
本機は、真空成膜プロセスである直流（DC）スパッタリング装置向けに設計された高圧DC電源です。主に金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリングにおいて、プラズマの安定した発生および維持を行うためのエネルギー供給源として使用されます。
成膜プロセス中に発生しやすい異常放電（マイクロアーク）を高速で検知し、瞬時に出力を遮断・復帰させるアーク抑制（アークカット）機能を備えています。これにより、薄膜へのパーティクル混入やターゲットの損傷を最小限に抑え、高品質な薄膜形成と安定したプロセスの維持に寄与します。
出力制御方式には、プロセス条件に合わせて選択可能な定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）の3つのモードが搭載されており、ターゲット材の消耗状態やプロセス圧力の変動に対しても柔軟な出力調整が可能です。また、外部インターフェースを介したリモート制御にも対応しており、真空装置のメインコントローラーと連動した自動シーケンス制御に組み込むことができます。適切な冷却機構により長時間の連続運転時でも内部温度の上昇を抑制し、安定した電源供給を実現します。研究開発用途からバッチ式の生産プロセスまで、幅広い真空装置で活用できる信頼性の高い電源ユニットです。
【AIによる参考仕様】
・用途：マグネトロンスパッタリング用 直流（DC）電源
・出力制御モード：定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）
・定格入力電源：三相 AC200V ±10% 50/60Hz
・最大出力電力：約 2.8 kW
・出力電圧範囲：DC 0 ～ 1000 V（スパッタ用途向け負極性出力）
・出力電流範囲：DC 0 ～ 3.0 A
・アーク検知・遮断時間：数マイクロ秒～数十マイクロ秒オーダー
・外部制御インターフェース：アナログ入出力（0-10VDC）および接点信号によるリモートコントロール
・冷却方式：強制空冷方式
・動作環境温度範囲：5℃ ～ 40℃
（※上記は同系統シリーズの基本設計に基づく参考仕様です。複数ラインナップが存在するシリーズのため、実際の出力レンジや搭載オプションは個体の仕様銘板や設定によって異なる場合があります。）