中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-057Dのご紹介

【AIによる装置概要】
真空成膜プロセス、特にDCマグネトロンスパッタリング装置のプラズマ発生用として設計された直流（DC）電源ユニットです。最大出力電力は500W（0.5kW）となっており、主に研究開発（R&D）用途や小型の実験用真空システム、小面積のターゲットを用いた薄膜形成プロセスに適した容量を備えています。

成膜プロセス中に発生しやすい異常放電（マイクロアーク等）を素早く検知し、出力を瞬時に遮断・復帰させるアークハンドリング機能を搭載しています。これにより、ターゲット材の損傷や基板へのパーティクル（微粒子）付着といったトラブルを抑制し、高品質で安定した薄膜形成を維持します。

出力の制御方式は、定電力制御（CP）、定電圧制御（CV）、定電流制御（CC）の3つのモードに対応しています。これにより、ターゲットの材質やプロセスの要求仕様に応じた最適な放電条件の選択が可能です。フロントパネルには視認性の高いメーターが配置され、リアルタイムでの出力モニタリングが行えるほか、外部インターフェースを介したリモート制御にも対応しているため、既存の真空装置システムへの組み込みにも適応します。

【AIによる参考仕様】
・最大出力電力：500 W (0.5 kW)
・出力制御方式：定電力 (CP) / 定電流 (CC) / 定電圧 (CV)
・最大出力電圧：DC 800 V（※スパッタリング標準プロセス値）
・最大出力電流：DC 1.0 A
・異常放電対策：アーク検知および高速遮断・復帰機能
・冷却方式：強制空冷
・主な用途：DCマグネトロンスパッタリング、各種直流プラズマプロセス

※上記は同シリーズのデータおよび標準的な仕様に基づく参考値です。実際の製品仕様は、オプションの有無や製造時期により一部異なる場合がありますので、導入前に実機銘板やコネクタ等の状態確認を推奨します。