中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、主に真空装置やマグネトロンスパッタリング装置において、プラズマ放電を発生・維持させるために用いられる直流（DC）電源です。薄膜形成プロセスにおいて、ターゲット材料へ安定した電力を供給するための要となる機器として設計されています。定電力、定電圧、定電流の各制御モードを搭載しており、成膜プロセスの条件やターゲットの材質に応じた精密な出力制御が可能です。

特に成膜中に発生しやすい異常放電（アーキング）を高速で検知し、出力を瞬時に遮断・復帰させるアーク抑制機能を備えているため、ターゲットの損傷やパーティクル発生による膜質の低下を効果的に防ぎます。定格出力は最大2kWとなっており、研究開発向けの小型装置から小・中規模の生産設備まで、幅広い真空成膜プロセスに対応できる容量を備えています。

フロントパネルには電圧、電流、電力を表示するデジタルメーターや各種設定ダイヤルが配置されており、直感的なマニュアル操作が可能です。また、外部インターフェースを介したリモートコントロールにも対応しているため、上位システムや真空装置本体の自動制御回路への組み込みも容易に行えます。中古機器として導入される際は、内蔵の冷却ファンの稼働状態や、外部I/Oの接続ピンのコンディションを確認することが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
・主な用途：マグネトロンスパッタリング装置用直流（DC）電源
・定格出力電力：最大 2.0 kW
・最大出力電圧：DC 1000 V
・最大出力電流：2.0 A
・出力制御方式：定電力（CP）モード、定電圧（CV）モード、定電流（CC）モード
・保護・アーク抑制機能：異常放電検知、高速遮断・自動復帰機能、過電流・過電圧保護
・操作方式：フロントパネルによる手動操作、および外部信号によるリモート制御
・入力電源：三相 AC 200 V（50/60 Hz）
・冷却方式：強制空冷方式（冷却ファン内蔵）
・出力端子仕様：同軸または専用高圧コネクタ対応