中古機 DC電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式MDX-5K　　M/N3152011-054Hのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、真空成膜プロセス、特にマグネトロンスパッタリングやプラズマCVDなどの用途で広く採用されている高信頼性のDC電源ユニットです。最大5kWの電力を供給し、プラズマの生成と維持に必要な安定した直流出力を実現します。プロセスの要求に合わせて、定電力（W）、定電圧（V）、定電流（A）の3つの制御モードから最適な駆動方式を選択可能です。

最大の特徴として、スパッタリング工程で発生しやすい異常放電（マイクロアーク）を高速に検知して出力を一時遮断し、速やかに復帰させるアーク制御機能を備えています。これにより、ターゲット材の損傷や基板へのパーティクル付着といったプロセス不良を物理的に低減します。

操作面では、フロントパネルのディスプレイを介した直感的なパラメータ設定および状態監視が可能なほか、背面のI/Oポート（ユーザーポート）やRS-232C通信機能を利用したホストシステムからのフルリモート制御にも対応しています。19インチラック（3Uサイズ）に組み込み可能な設計となっており、研究開発用の実験装置から量産用成膜システムまで、幅広い設備に統合しやすい電源です。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：5000 W
最大出力電圧：1000 V
最大出力電流：10 A（出力電圧・電流の組み合わせは定格5kWの範囲内に制限）
出力制御モード：定電力、定電圧、定電流
入力電圧：AC 200〜208 V（3相、50/60 Hz）
入力電流：約 22 A（各相）
アーク処理機能：アーク検知、Arc-Out時間設定対応
通信インターフェース：アナログI/O（37ピン D-sub）、RS-232C
冷却方式：強制空冷
外形寸法：幅 483 mm × 高さ 133 mm × 奥行 533 mm（EIA 19インチ 3Uラックマウント準拠）
重量：約 27.2 kg