中古 DC電源
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式PDC-028
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、主に真空成膜プロセスやマグネトロンスパッタリング装置におけるプラズマ生成用に設計された直流電源です。安定したグロー放電を維持するための高度な制御回路を搭載しており、プロセスに応じた精密なエネルギー供給を実現します。運転モードとして、定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）の3方式に対応しており、成膜レートの安定化やターゲット材の均一な消耗など、目的やプロセス条件に合わせて柔軟な運用が可能です。
特に、スパッタリング工程で発生しやすい異常放電（アーキング）を瞬時に検知するアーク抑制回路を備えている点が特徴です。数マイクロ秒（約2〜3μs）という極めて短い時間で出力を高速遮断し、直後に自動復帰するメカニズムにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル（微粒子）付着のリスクを低減し、歩留まりの低下を防ぎます。
操作面では、フロントパネルに視認性の高いデジタルメーターを配置し、出力電圧、電流、電力をリアルタイムで正確にモニタリングできます。また、外部アナログI/Oインターフェースを介したリモートコントロールやインターロック機能にも対応しているため、既存の真空装置やPLCを用いた自動制御システムへの組み込みが容易に行えます。
【AIによる参考仕様】
・電源タイプ：直流（DC）プラズマ電源
・主な用途：DCマグネトロンスパッタリング、各種真空成膜プロセス
・制御方式：定電力（CP）/ 定電流（CC）/ 定電圧（CV）
・最大出力電力：2.8 kW
・最大出力電圧：DC 800 V 〜 1000 V（プロセス負荷に依存）
・最大出力電流：約 3.5 A
・アーク抑制機能：ハードウェア検知による高速遮断（応答時間 約2μs）、自動復帰機能
・入力電源：三相 AC 200 V ±10%、 50 / 60 Hz
・冷却方式：強制空冷式（内蔵ファンによる放熱）
・外部制御インターフェース：アナログI/O（出力設定、ON/OFF制御、インターロック、異常アラーム出力）
・パネル表示：デジタルLEDメーター（電圧・電流・電力表示）
・保護機能：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、過熱保護（OHP）
本装置は、主に真空成膜プロセスやマグネトロンスパッタリング装置におけるプラズマ生成用に設計された直流電源です。安定したグロー放電を維持するための高度な制御回路を搭載しており、プロセスに応じた精密なエネルギー供給を実現します。運転モードとして、定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）の3方式に対応しており、成膜レートの安定化やターゲット材の均一な消耗など、目的やプロセス条件に合わせて柔軟な運用が可能です。
特に、スパッタリング工程で発生しやすい異常放電（アーキング）を瞬時に検知するアーク抑制回路を備えている点が特徴です。数マイクロ秒（約2〜3μs）という極めて短い時間で出力を高速遮断し、直後に自動復帰するメカニズムにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル（微粒子）付着のリスクを低減し、歩留まりの低下を防ぎます。
操作面では、フロントパネルに視認性の高いデジタルメーターを配置し、出力電圧、電流、電力をリアルタイムで正確にモニタリングできます。また、外部アナログI/Oインターフェースを介したリモートコントロールやインターロック機能にも対応しているため、既存の真空装置やPLCを用いた自動制御システムへの組み込みが容易に行えます。
【AIによる参考仕様】
・電源タイプ：直流（DC）プラズマ電源
・主な用途：DCマグネトロンスパッタリング、各種真空成膜プロセス
・制御方式：定電力（CP）/ 定電流（CC）/ 定電圧（CV）
・最大出力電力：2.8 kW
・最大出力電圧：DC 800 V 〜 1000 V（プロセス負荷に依存）
・最大出力電流：約 3.5 A
・アーク抑制機能：ハードウェア検知による高速遮断（応答時間 約2μs）、自動復帰機能
・入力電源：三相 AC 200 V ±10%、 50 / 60 Hz
・冷却方式：強制空冷式（内蔵ファンによる放熱）
・外部制御インターフェース：アナログI/O（出力設定、ON/OFF制御、インターロック、異常アラーム出力）
・パネル表示：デジタルLEDメーター（電圧・電流・電力表示）
・保護機能：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、過熱保護（OHP）