中古機 DC電源（ピナクルプラス） アドバンスドエナジー　AE製、型式M/N　3152533-356Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスやFPD（フラットパネルディスプレイ）、太陽電池などの薄膜形成（PVD、スパッタリング、CVDなど）において、安定したプラズマを生成・維持するために設計されたパルスDC電源です。ターゲット表面に蓄積する電荷をパルス印加によって中和し、反応性スパッタリング時に発生しやすいアーキング（異常放電）を2マイクロ秒以下の極めて短い応答時間で検知・抑制する技術が組み込まれています。これにより、パーティクルの発生やターゲットの損傷を最小限に抑え、成膜の品質と再現性を向上させます。

動作モードとしては、連続的なDC出力に加えて、5kHzから最大350kHzまでの広範な周波数帯域でパルス出力を調整できるため、プロセス条件に応じた柔軟な設定に対応します。出力電圧および電流の制御においても高い精度を持ち、インピーダンス変動の激しいプラズマ環境下でも設定値に対して厳密な電力供給を維持します。また、冷却機構には水冷方式が採用されており、高負荷な環境下での連続運転時にも内部温度の上昇を適切に管理し、安定した稼働を維持する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・定格出力電力：最大 10 kW
・最大出力電圧：1000 V（10 kWの電力制限範囲内）
・最大出力電流：25 A（10 kWの電力制限範囲内）
・パルス周波数設定範囲：5 kHz 〜 350 kHz
・逆電圧時間（リバースタイム）：0.5 µs 〜 30 µs
・アーク検知・応答時間：2 µs 以下
・冷却方式：水冷
・出力系統：シングル出力（型式・構成オプションに準拠）
・主な制御インターフェース：アナログI/O、RS-232C（その他通信オプション規格対応）
・設置形態：標準19インチラックマウント対応