中古機 DC電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式MDX(2224-013-E)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プラズマプロセスおよびDCマグネトロンスパッタリング用途向けに設計された、最大出力1.5kWの直流（DC）電源です。主に半導体製造や各種表面コーティングなどの薄膜成膜プロセスにおいて、プラズマを安定して発生・維持するための駆動源として利用されます。

出力制御は、プロセスの要件に応じて「定電力」「定電圧」「定電流」の3つのモードから選択でき、プロセス中の負荷変動に対して精密なフィードバック制御を行います。また、真空プロセスにおいて品質低下の原因となる異常放電（アーク）をマイクロ秒単位で検知・抑制するアーク処理機能を内蔵しており、ターゲット材料の損傷や基板へのダメージを防止します。

冷却機構には内蔵ファンによる強制空冷式を採用しており、冷却水配管などの付帯設備を必要としないため、装置への組み込みやレイアウト変更が容易です。背面の外部インターフェースを介したアナログ信号によるリモート制御に対応しており、メインのシステムコントローラと連動した自動運用が可能です。内部のタップ設定を変更することで、使用するターゲット特性に合わせた最適な電圧・電流の出力上限（最大1000V～1500Vなど）に調整できる柔軟性を備えています。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：1500 W (1.5 kW)
出力電圧範囲：0 ～ 最大1500 V（内部タップ設定により上限変動）
出力電流範囲：0 ～ 最大3.0 A（内部タップ設定により上限変動）
制御モード：定電力、定電圧、定電流
アーク抑制機能：搭載（異常放電の高速検知および遮断・復帰）
入力電圧：単相 AC 208 V（工場設定・仕様により AC 190～230 V）
入力周波数：50 / 60 Hz
冷却方式：強制空冷（内蔵ファン）
外部制御インターフェース：アナログI/O（D-subコネクタ）によるリモートコントロール
設置形状：EIA 19インチラックマウント対応（※複数台連結用の専用アダプタ使用時）