中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、主に真空成膜装置におけるマグネトロンスパッタリングプロセス向けに設計された直流（DC）電源です。安定したプラズマ放電を維持するため、プロセス中に発生しやすい異常放電（アーキング）を高速で検知し、瞬時に遮断・回復を行うアーク抑制機能を搭載しています。これにより、ターゲット材の損傷やパーティクルの発生による成膜不良を最小限に抑えることが可能です。

同メーカーのDC電源シリーズでは、システム規模に応じて出力帯域の異なる複数のモデルが展開されていますが、本機は小〜中規模の真空チャンバーや研究開発用途、あるいは特定のプロセスラインに最適化された定格出力を備えています。長時間の連続運転時においても出力の変動を極めて小さく抑える制御機能を持ち、プロセス条件の高い再現性を維持する堅牢な設計が特徴です。

また、外部コントロール用のインターフェースやインターロック機能を標準装備しているため、既存の真空成膜システムへの組み込みや、旧型機からのリプレイスメントにも柔軟に対応します。

【AIによる参考仕様】
・装置分類: スパッタリングプロセス用直流（DC）電源
・最大出力電力: 2.8 kW
・最大出力電圧: 1000 V
・最大出力電流: 2.8 A
・制御モード: 定電力制御（CP）、定電圧制御（CV）、定電流制御（CC）
・入力電源: 三相 AC 200 V ±10% （50/60 Hz）
・アーク処理機能: 高速アーク検知・遮断・自動復帰回路内蔵
・冷却方式: 強制空冷
・保護機能: 過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、過熱保護（OHP）、インターロック機能
・外部インターフェース: アナログ制御I/O、ステータス出力接点

※上記は同シリーズの複数型式情報の中から本モデルに該当する数値を抽出した参考仕様です。中古品としての現状のコンディションや搭載オプションの有無については、実機での確認を推奨します。