中古 DC電源
メーカー名
アドバンスドエナジー AE
型式MDX-5K(2011-056-D)
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
200,000円
【AIによる装置概要】
マグネトロンスパッタのカソードに直流の電力を送ってターゲットの前にプラズマを立て、成膜に使うDC電源(MDX Magnetron Drive)。制御はREGULATIONの切替で定電力・定電流・定電圧から選べる。
出力電力は5kWで、出力電圧は0〜1000V、出力電流は0〜10A。STD-Zタイプではタップの切替で、TAP#1が0〜600V/0〜10A、#2が0〜800V/0〜8A、#3が0〜1000V/0〜6.25Aとなり、高い電圧と大きな電流は同時には出せない。出力リップルは5% RMS(リップル周波数50kHz)。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)と単相115VAC±10%。前面のREMOTESでHOST・LEVEL・RAMP・ONを外部制御に切り替えられ、表示はkW・V・Aの値と、ARCやTARGET LIFEなどの状態を示す。
数値は同シリーズのMDX-10K取扱説明書にあるMDX 5Kの列による。Low-Zタイプは最大12.5A、High-Zタイプは最大1250V/8Aで、現品のインピーダンスタイプは確かめる必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：DCマグネトロンスパッタ用電源(MDX Magnetron Drive)
・出力電力：5 kW
・出力電圧：0〜1000 V
・出力電流：0〜10 A
・出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替)：TAP#1 0〜600V/0〜10A、#2 0〜800V/0〜8A、#3 0〜1000V/0〜6.25A
・入力電源：三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)+単相115VAC±10%
・出力リップル：5% RMS(リップル周波数50kHz)
・制御方式：定電力 / 定電流 / 定電圧(REGULATION 切替)
・リモート制御：HOST / LEVEL / RAMP / ON(前面 REMOTES)
・表示：kW・V・A の左右2表示、ARC / RAMP / SETPOINT / PLASMA / TARGET LIFE / TEMP / WATER / VACUUM 状態表示
※電気的仕様は社内保管の MDX-10K 取扱説明書(日本語、rev D)の「主な仕様」表にある MDX 5K 列による
※出力電圧・出力電流は STD-Z タイプのタップ(TAP#1〜#3)の最大値で、同時には出せない(1000V側では6.25A、10A側では600Vまで)
※取説の表では MDX-5K の Low-Z タイプは最大12.5A、High-Z タイプは最大1250V/8A。掲載機のインピーダンスタイプは写真から判別できず、現品で要確認
※(2011-056-D)はAEの部品番号の一部とみられ、入力電圧・タップ仕様の組み合わせは未確認
マグネトロンスパッタのカソードに直流の電力を送ってターゲットの前にプラズマを立て、成膜に使うDC電源(MDX Magnetron Drive)。制御はREGULATIONの切替で定電力・定電流・定電圧から選べる。
出力電力は5kWで、出力電圧は0〜1000V、出力電流は0〜10A。STD-Zタイプではタップの切替で、TAP#1が0〜600V/0〜10A、#2が0〜800V/0〜8A、#3が0〜1000V/0〜6.25Aとなり、高い電圧と大きな電流は同時には出せない。出力リップルは5% RMS(リップル周波数50kHz)。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)と単相115VAC±10%。前面のREMOTESでHOST・LEVEL・RAMP・ONを外部制御に切り替えられ、表示はkW・V・Aの値と、ARCやTARGET LIFEなどの状態を示す。
数値は同シリーズのMDX-10K取扱説明書にあるMDX 5Kの列による。Low-Zタイプは最大12.5A、High-Zタイプは最大1250V/8Aで、現品のインピーダンスタイプは確かめる必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：DCマグネトロンスパッタ用電源(MDX Magnetron Drive)
・出力電力：5 kW
・出力電圧：0〜1000 V
・出力電流：0〜10 A
・出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替)：TAP#1 0〜600V/0〜10A、#2 0〜800V/0〜8A、#3 0〜1000V/0〜6.25A
・入力電源：三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)+単相115VAC±10%
・出力リップル：5% RMS(リップル周波数50kHz)
・制御方式：定電力 / 定電流 / 定電圧(REGULATION 切替)
・リモート制御：HOST / LEVEL / RAMP / ON(前面 REMOTES)
・表示：kW・V・A の左右2表示、ARC / RAMP / SETPOINT / PLASMA / TARGET LIFE / TEMP / WATER / VACUUM 状態表示
※電気的仕様は社内保管の MDX-10K 取扱説明書(日本語、rev D)の「主な仕様」表にある MDX 5K 列による
※出力電圧・出力電流は STD-Z タイプのタップ(TAP#1〜#3)の最大値で、同時には出せない(1000V側では6.25A、10A側では600Vまで)
※取説の表では MDX-5K の Low-Z タイプは最大12.5A、High-Z タイプは最大1250V/8A。掲載機のインピーダンスタイプは写真から判別できず、現品で要確認
※(2011-056-D)はAEの部品番号の一部とみられ、入力電圧・タップ仕様の組み合わせは未確認