中古機 DC電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式MDX-5K(2011-056-D)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やディスプレイ製造、各種真空コーティングにおけるマグネトロンスパッタリングプロセス向けに設計された定格出力5kWの直流（DC）電源です。出力制御は定電力（W）、定電流（I）、定電圧（V）の3つのモードに対応しており、成膜プロセスの要件に応じた高精度なプラズマ制御を実現します。出力リップルが低く抑えられており、安定したスパッタリングを維持することで、均一で高品質な薄膜の形成に寄与します。

また、プロセス中に発生する異常放電（マイクロアーク）を瞬時に検知して出力を遮断・回復させるアークハンドリング機能を標準で備えています。これにより、ターゲット材の損傷や基板へのパーティクル付着といったプロセス不良を最小限に抑えることが可能です。

入力電源は主に3相208V（50/60Hz）で駆動し、既存の生産設備への統合が容易です。筐体は標準的な19インチラックマウントに適合するコンパクトな設計となっており、限られた設置スペースを有効に活用できます。外部インターフェースを介したリモート制御やモニタリングにも対応しているため、自動化された製造ラインや研究開発用途において柔軟な運用が可能です。

【AIによる参考仕様】
定格出力電力：最大 5 kW
最大出力電圧：1000 V DC（※内部タップ設定により上限値変動あり）
最大出力電流：10 A（※内部タップ設定により上限値変動あり）
制御モード：定電力、定電流、定電圧
入力電源：AC 200-208 V ±10%（3相）
入力周波数：50 / 60 Hz
入力電流：約 20 A
アーク制御：高速アークハンドリング機能内蔵
外部インターフェース：アナログ / デジタル I/O
外形形状：19インチラックマウント対応
※枝番（2011-056-D）や製造時期のオプション構成により、冷却方式（空冷または水冷）やピンアサインが異なる場合があります。正確な仕様は実機の銘板や端子をご確認ください。