中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、真空薄膜形成プロセス、特にマグネトロンスパッタリング装置においてプラズマを安定して発生・維持させるために用いられる直流（DC）電源です。スパッタリング成膜では、ターゲット材料に対して安定した直流電圧を印加し、均一なグロー放電を持続させることが、膜厚の制御や成膜速度の維持において極めて重要となります。本機は、プロセスの要求に合わせて定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）の3つの制御モードを選択することができ、プロセス条件に応じた精密な出力コントロールを実現します。

また、スパッタリングプロセス中に突発的に発生しやすい異常放電（アーキング）に対して、瞬時にアークを検知し、マイクロ秒（μs）からミリ秒（ms）単位の高速応答で出力を遮断・再印加するアークハンドリング（アーク抑制）機能を搭載しています。この機能により、ターゲット表面への局所的な熱ダメージや、基板（ウェーハ）上へのパーティクル飛散による膜質低下を効果的に防止します。外部コントローラからのアナログ電圧信号およびデジタル接点信号を用いたリモート制御インターフェースを備えており、既存の真空成膜システムや研究開発用装置への組み込み、上位システムとの連動が容易な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・用途: マグネトロンスパッタリング用 直流（DC）電源
・出力制御モード: 定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）
・入力電源仕様: AC200V（50/60Hz）
・基準出力電圧: DC 500V ～ 1000Vクラス（※ターゲット材質および放電条件による）
・アークハンドリング応答速度: マイクロ秒（μs）～ミリ秒（ms）オーダーでの検知・遮断・復帰
・保護・インターロック機能: 高速アーク遮断、過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、内部過熱保護（OHP）、真空度低下インターロック連動対応
・外部制御インターフェース: アナログ信号（0-5Vまたは0-10Vによる出力設定・モニタ）、デジタルI/O（運転/停止、アラーム出力）
・冷却方式: 強制空冷（または水冷 ※搭載環境・筐体構成により異なる）

※上記は同シリーズの公式情報および一般的な技術データに基づく参考仕様です。シリーズ内で複数の出力定格（最大電力・最大電流値）が存在するため、詳細な定格出力およびピンアサイン等については実機の銘板情報をご確認ください。