中古機 DC電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式MDX-10K　　M/N3152012-102Aのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プラズマプロセスやマグネトロンスパッタリング用途に設計された直流（DC）電源です。最大10kWの大容量電力を供給し、プロセス中の安定したプラズマ放電を維持するための高度な制御機能を備えています。定電力、定電圧、および定電流の3つの制御モードを搭載しており、変動するプラズマインピーダンスに対してもプロセス条件に応じた柔軟な対応が可能です。

特に成膜プロセスで頻発する異常放電（アーク）に対しては、マイクロ秒オーダーで検知・遮断を行うアークハンドリング機能を内蔵しており、ターゲットの損傷を防ぎながら製品の品質低下を抑制します。冷却方式には水冷式を採用し、高出力での連続稼働時における本体内部の温度上昇を効率的に管理します。

フロントパネルからのローカル操作に加え、リアパネルのアナログ/デジタルI/Oポートやシリアル通信を用いたリモート制御にも対応しているため、既存の半導体製造装置や真空システムへの統合が容易です。本個体は400VACの3相入力仕様となっており、海外規格の設備や対応する動力電源環境での運用に適した設計となっています。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：10 kW
出力制御モード：定電力、定電圧、定電流
入力電圧：400 VAC（3相、50/60 Hz）
冷却方式：水冷式
アーク抑制機能：内蔵（高速アーク検知・遮断対応）
制御インターフェース：アナログ/デジタルユーザーポート、RS-232
筐体形状：19インチラックマウント対応
特記事項：最大出力電圧および最大出力電流のレンジは、内部のインピーダンス（タップ）設定により変動します