中古機 DC電源（MDX） アドバンスドエナジー　AE製、型式M/N　3152012-112Bのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空成膜プロセス、特にマグネトロンスパッタリングやDCバイアス用途に特化して設計された最大出力10kWのプラズマ用DC電源です。プラズマプロセスにおいて不可避となるアーク放電に対して、高速に検知・遮断を行うアークハンドリング機能を備えています。これにより、成膜中のターゲット材や基板へのダメージを最小限に抑えつつ、安定したプラズマ放電とパーティクル発生の低減を実現します。

本機は電源システムにおけるマスターユニットとして機能する設計となっており、プロセス要件の変更やスケールアップに伴い、専用のスレーブユニットを並列接続することで出力電力を容易に拡張できる柔軟性を持っています。内部の冷却には水冷方式が採用されており、長時間の連続稼働における安定した熱管理を実現するとともに、クリーンルーム内における排気熱の負荷を抑制します。定電力、定電圧、定電流の各モードで高精度な制御が可能であり、半導体、電子部品、ディスプレイパネル、各種光学コーティングなどの真空チャンバー内プロセスにおいて、高信頼性の電力供給を担う産業用電源です。

【AIによる参考仕様】
・最大出力電力：10 kW
・最大出力電圧：1000 V
・最大出力電流：20 A
（※負荷インピーダンスに応じ、最大10 kWのエンベロープ範囲内で電圧・電流を自動マッチング）
・入力電源：AC 200〜208 V、3相、50/60 Hz
・入力定格電流：約 36 A（フル負荷時）
・冷却方式：水冷式（専用の冷却水イン・アウトポート搭載）
・制御モード：定電力（W）、定電圧（V）、定電流（A）
・アーク処理機能：内蔵（トリップ電圧・電流、遅延時間などのパラメータ調整対応）
・外部インターフェース：アナログI/O（User Port）、RS-232C通信ポート
・システム構成機能：マスターユニット（スレーブ接続による並列出力拡張に対応）
・力率：0.9 以上

※上記は同シリーズ当該クラスの一般的なカタログ仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の稼働パラメータやファームウェアのバージョン、付属するオプション等の詳細については現品の銘板および設定状態に依存します。