中古機 DC電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式MDX(3152011-056E)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、マグネトロンスパッタリングや各種真空プラズマプロセス用途に設計された直流（DC）電源です。最大1.5 kW（1500 W）の出力を備え、チャンバー内での安定したプラズマ放電と高精度なプロセス制御を提供します。

主な特長として、プロセス中に発生しうる異常放電（アーク）をマイクロ秒単位の高速で検知し、瞬時に出力を遮断・回復させるアーク抑制機能を搭載しています。これにより、ターゲット材の損傷やコーティング薄膜の欠陥を最小限に抑えることが可能です。出力制御は、プロセスの条件や要求に合わせて「定電力」「定電圧」「定電流」の3つのモードから選択して運用できます。

外部インターフェースには標準的なアナログ・デジタルI/OおよびRS-232Cポートを備えており、PLCやホストシステムからのリモート制御、パラメータのモニタリングに柔軟に対応します。筐体は19インチ標準ラックマウント設計を採用しており、既存の生産設備や実験システムへの組み込みが容易です。冷却は内蔵ファンによる強制空冷式のため、外部の冷却水循環設備を必要としません。半導体製造、電子部品の表面処理、光学薄膜の形成など、過酷な条件下でも連続的かつ安定した電力供給を行う電源ユニットです。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：1500 W (1.5 kW)
最大出力電圧：1000 V DC
最大出力電流：3.0 A
制御モード：定電力、定電圧、定電流
アーク処理：高速アーク検知・抑制機能内蔵
入力電圧：200〜240 VAC (50/60 Hz)
冷却方式：強制空冷（内蔵ファン）
インターフェース：アナログI/O (D-Sub 25ピン), RS-232C
設置形状：19インチラックマウント対応