中古 DC電源
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式PDC-028
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
本機は、真空成膜装置（主にスパッタリング装置）向けに開発された直流（DC）電源です。スパッタリングプロセスにおいて、ターゲット材料にマイナスの直流電圧を印加し、安定したプラズマ放電を発生・維持するための重要な役割を担います。
定電力（CP）、定電流（CC）、および定電圧（CV）の各制御モードを備えており、要求されるプロセス条件に応じた高精度な出力制御が可能です。特に、成膜中に発生しやすい異常放電（マイクロアーキング）を数マイクロ秒（μs）〜数ミリ秒（ms）の応答速度で検知し、瞬時に出力を遮断・復帰させるアーク抑制機能を搭載している点が大きな特徴です。これにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル（微粒子）付着を最小限に抑え、高品質な金属膜や導電性薄膜の成膜プロセスを実現します。
また、外部コントロール用のアナログインターフェースやインターロック端子を備えており、成膜装置のメインコントローラと連動した自動制御システムへの組み込みが容易です。長時間の連続稼働でも出力変動を±1%以下に抑える高い安定性を持ち、研究開発用途から量産プロセスまで幅広い真空成膜ラインで活用される信頼性の高いユニットです。
【AIによる参考仕様】
・制御方式：定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）制御
・標準出力電圧レンジ：0 〜 -800V / -1000V（DC）
・入力電源：三相 AC200V ±10%（50/60Hz）
・アーク遮断応答速度：数 μs 〜 数 ms オーダー
・保護機能：アーキング検知・高速遮断機能（アークカット）、過電流保護、過電圧保護、過熱保護、冷却異常検知
・インターフェース：外部アナログ制御/モニター端子、インターロック入力端子（真空度・冷却水検知等に連動）
・主な用途：DCスパッタリング成膜装置のプラズマ放電用、真空装置のバイアス印加用など
（※本シリーズは複数の定格出力モデルが存在するため、上記の具体的な数値および仕様は同等クラスのデータに基づくAI生成の参考値です。正確な定格出力電力（kW）および定格電流（A）等の詳細については、必ず実機背面の銘板またはマニュアルにてご確認ください。）
本機は、真空成膜装置（主にスパッタリング装置）向けに開発された直流（DC）電源です。スパッタリングプロセスにおいて、ターゲット材料にマイナスの直流電圧を印加し、安定したプラズマ放電を発生・維持するための重要な役割を担います。
定電力（CP）、定電流（CC）、および定電圧（CV）の各制御モードを備えており、要求されるプロセス条件に応じた高精度な出力制御が可能です。特に、成膜中に発生しやすい異常放電（マイクロアーキング）を数マイクロ秒（μs）〜数ミリ秒（ms）の応答速度で検知し、瞬時に出力を遮断・復帰させるアーク抑制機能を搭載している点が大きな特徴です。これにより、ターゲット表面の損傷や基板へのパーティクル（微粒子）付着を最小限に抑え、高品質な金属膜や導電性薄膜の成膜プロセスを実現します。
また、外部コントロール用のアナログインターフェースやインターロック端子を備えており、成膜装置のメインコントローラと連動した自動制御システムへの組み込みが容易です。長時間の連続稼働でも出力変動を±1%以下に抑える高い安定性を持ち、研究開発用途から量産プロセスまで幅広い真空成膜ラインで活用される信頼性の高いユニットです。
【AIによる参考仕様】
・制御方式：定電力（CP）、定電流（CC）、定電圧（CV）制御
・標準出力電圧レンジ：0 〜 -800V / -1000V（DC）
・入力電源：三相 AC200V ±10%（50/60Hz）
・アーク遮断応答速度：数 μs 〜 数 ms オーダー
・保護機能：アーキング検知・高速遮断機能（アークカット）、過電流保護、過電圧保護、過熱保護、冷却異常検知
・インターフェース：外部アナログ制御/モニター端子、インターロック入力端子（真空度・冷却水検知等に連動）
・主な用途：DCスパッタリング成膜装置のプラズマ放電用、真空装置のバイアス印加用など
（※本シリーズは複数の定格出力モデルが存在するため、上記の具体的な数値および仕様は同等クラスのデータに基づくAI生成の参考値です。正確な定格出力電力（kW）および定格電流（A）等の詳細については、必ず実機背面の銘板またはマニュアルにてご確認ください。）