中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、主に真空成膜プロセスである直流（DC）マグネトロンスパッタリング装置のカソード放電用として設計された専用の直流電源です。薄膜形成において重要となる安定したプラズマ放電を維持するため、定電力（CP）、定電圧（CV）、定電流（CC）の3つの制御モードを備えており、ターゲット材質やプロセス条件に応じた柔軟な出力制御が可能です。

成膜中の異常放電（アーキング）は、膜質の低下やパーティクル発生の主要な原因となります。本機はスパッタリングプロセス特有のアーキング現象を高速で検知し、出力を瞬時に遮断・復帰させるアーク抑制機能を搭載しています。これにより、ターゲット表面の損傷を防ぎつつ、長時間の安定した連続成膜をサポートします。

同シリーズでは複数の出力帯（型式）が展開されていますが、本機は定格出力電力が2.8kWに設定された中出力帯のモデルです。研究開発用の小型真空チャンバーから、中規模な生産設備のスパッタリングカソードまで幅広い用途に適応します。また、外部インターフェースを介した真空装置側のPLC等との連動制御にも対応しており、既存設備の予備機やシステムへの組み込み用電源として汎用性の高い設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・定格出力電力：2.8 kW
・最大出力電圧：DC -800 V （スパッタリング用負極性出力）
・最大出力電流：3.5 A
・出力制御モード：定電力制御（CP） / 定電圧制御（CV） / 定電流制御（CC）
・入力電源仕様：三相 AC 200 V / 220 V （50/60 Hz）
・冷却方式：強制空冷
・主な保護機能：高速アーク検知・遮断機能、過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、冷却異常・温度過昇保護
・対象プロセス：DCマグネトロンスパッタリング、各種真空薄膜形成プロセス