中古機 DC電源（MDX-10K） アドバンスドエナジー　AE製、型式3152012-041ABのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造におけるPVD（物理気相成長）システム、特にAMAT社製ENDURAシステム向けに最適化された最大出力10kWの直流（DC）電源です。主にマグネトロンスパッタリングプロセスにおいて、安定したプラズマの生成と維持を行うためのコアユニットとして機能します。定電力、定電圧、定電流の3つの制御モードを備えており、プロセス要件に応じた高精度な出力制御に対応しています。

スパッタリング特有の課題である異常放電（アーク）への対策として、高速アーク検知および抑制技術が組み込まれている点が重要な特徴です。異常放電をマイクロ秒単位で検知し、瞬時に出力を遮断・復帰させることで、ターゲット材の損傷やウェーハ上のパーティクル発生を最小限に抑え、成膜品質と歩留まりを高く維持します。

冷却方式には水冷を採用しており、高出力での連続稼働時においても機器内部の熱を効率的に排出します。また、必要に応じて複数台を連携させるマスター/スレーブ構成にも対応可能であり、プロセスの拡張や大電力化のニーズにも柔軟に適応します。標準的な19インチラックへの組み込みに対応した筐体設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・最大出力電力：10 kW
・最大出力電圧 / 電流：1000 V / 20 A（運用設定により変動）
・出力制御モード：定電力、定電圧、定電流
・入力電源：3相 AC 208 V（±10%）、50/60 Hz
・冷却方式：水冷式（冷却水流量 約5.7 L/min 以上、水温35℃以下）
・保護機能：過電圧、過電流、過熱、冷却水流量低下インターロック
・アーク抑制：マイクロ秒クラスの高速アーク検知・遮断機能
・通信 / インターフェース：アナログI/O、RS-232等（システム構成に依存）
・設置形状：19インチラックマウント準拠
・対象システム：AMAT ENDURA向けカスタマイズ仕様

※上記は同シリーズの標準的なデータおよび対象システム向けモデルの数値を基にした参考仕様です。実際のピンアサインや詳細な入出力レンジは、組み込み先システムの構成に依存する場合があります。