中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、主に真空成膜装置におけるマグネトロンスパッタリングなどのプラズマプロセス用途に設計された直流（DC）電源です。真空チャンバー内のターゲット材に対して安定した電力を供給し、高精度な成膜プロセスを維持する役割を担います。プロセス要件に応じて、定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）の各制御モードを選択でき、ターゲットの材質や放電状態に合わせた最適な電力制御が可能です。

成膜中に発生しやすいアーキング（異常放電）を迅速に検知し、出力を瞬時に遮断・復帰させるアーク抑制機能を備えています。これにより、パーティクルの発生や基板・ターゲットへのダメージを最小限に抑え、安定したプロセス環境を保ちます。フロントパネルには視認性の高い出力メーター（電圧・電流）や操作ダイアルが配置されており、手動での直感的な調整が可能です。また、外部インターフェースを介したリモートコントロールにも対応しているため、成膜装置のメインコントローラー（PLC等）と連携した自動運転システムへの組み込みや、既存設備の老朽化に伴うリプレイスメント用途としても広く活用されます。

【AIによる参考仕様】
・電源タイプ：直流（DC）電源（スパッタリングプロセス等向け）
・入力電源：三相 AC200V / 220V ±10%（50/60Hz）
・出力制御モード：定電圧（CV）、定電流（CC）、定電力（CP）
・アーク抑制機能：マイクロ秒（μs）オーダーでのアーク検知および出力遮断・自動復帰
・フロントパネル表示：出力電圧（V）、出力電流（A）表示計
・保護・安全機能：過電圧保護（OVP）、過電流保護（OCP）、冷却異常検知、過温度保護、各種ハードウェアインターロック
・外部制御インターフェース：リモートI/O端子（出力ON/OFF制御、設定値アナログ入力、モニタリング出力）
・冷却方式：強制空冷 または 水冷（実機仕様に依存）

※上記は同系統のシリーズ仕様から抽出した参考情報です。公式データでは同一シリーズ内に複数の出力クラスが混在して記載されているため、本機の固有の最大出力定格（最大電圧・電流値・定格電力）や搭載オプションの有無については、必ず実機の銘板数値および現物のコネクタ形状をご確認ください。