中古機 RF電源 Eni製、型式ACG-5のご紹介

【AIによる装置概要】
スパッタリングやエッチング、プラズマCVDなどの装置で、プラズマを立てるための高周波電力を供給する空冷のRF電源(ACGシリーズ)。出力した高周波は整合器を通して電極へ送る。
周波数は13.56MHzで、安定度は±0.005%(シリーズ共通)。出力は型番から500W級で、前面のメータは0〜600Wの目盛。負荷から戻る反射電力や出力段(PA)の電流に応じて、進行波の電力を自動で制限して電源を守る。冷却は強制空冷で、使える周囲温度は+10〜+40℃。インターフェースは、RF ONの入力(TTLまたは接点)と、RF ON・最大電力の出力(TTL)を持ち、RF出力はN型のコネクタ。
ACG-5に固有のデータシートは無く、シリーズ共通の値は現行のACG-3B/6B/10Bのデータシートによる。入力電源・寸法・質量は確かめられていない。
【AIによる参考仕様】
・種別：空冷 RFプラズマ電源(ACGシリーズ)
・周波数：13.56(安定度±0.005%、シリーズ共通) MHz
・出力：500級(型番、前面メータは0〜600W) W
・負荷保護：反射電力・PA電流に応じた自動進行波リミット(シリーズ共通)
・冷却：強制空冷、+10〜+40℃(シリーズ共通)
・インターフェース：RF ON入力(TTL/接点)、RF ON・最大電力出力(TTL)、RF出力 N型(シリーズ共通)
※ACG-5 固有のデータシートは無く、共通仕様は現行 ACG-3B/6B/10B データシートから。入力電源・寸法・質量は未確認。