中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングなどの真空プロセスにおいて、プラズマを安定して発生・維持させるために使用される高周波（RF）電源です。半導体製造装置や電子部品の成膜・加工プロセス、および研究開発用の真空装置などに組み込まれて使用されます。

工業用・医療用として標準的に割り当てられているISMバンドの13.56MHzを採用しており、水晶発振制御によって極めて安定した周波数を出力します。最大1250Wの高出力を備えており、プラズマの着火からプロセスの維持まで、負荷の変動に対しても追従性の高い確実な電力供給を実現します。

フロントパネルには、負荷側へ向かう進行波電力（Forward）と、負荷から戻ってくる反射波電力（Reflected）を常時監視できるメーターが搭載されており、出力状態やプラズマの安定性を直感的に把握できます。通常は50Ωの出力インピーダンスに対して、専用の自動インピーダンス整合器（オートマッチングネットワーク）を介して真空チャンバーに接続され、反射電力を最小限に抑えた効率的な電力伝送を行います。

また、外部インターフェースを用いたリモート制御に対応しており、上位のシステムコントローラーからの出力設定（アナログ電圧制御など）や、オン・オフ制御、各種異常信号（インターロック）のモニタリングが可能です。これにより、自動化された製造ラインや統合制御される真空システムへの組み込みに適した設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz
・周波数安定度: ±0.005% 以内
・最大出力電力: 1250 W
・出力インピーダンス: 50 Ω（不平衡）
・出力安定度: ±1% 以内（フルスケール時）
・高周波出力コネクタ: N型 または HN型 レセプタクル
・高調波スプリアス: -50 dB 以下
・反射電力許容値: 定格出力の約10～20%（連続保護）
・冷却方式: 水冷式（必要冷却水量：約 2.0～3.0 L/min、水圧：0.15～0.3 MPa）
・保護機能（インターロック）: 反射電力過大保護、内部温度異常（冷却水流量低下）保護、過電流・過電圧保護
・入力電源: 三相 AC 200 V ±10%, 50/60 Hz
・最大消費電力: 約 2.5 kVA

※上記は同クラスのシリーズ仕様に基づく参考値です。組み込み先の装置仕様や製造年代により、コネクタ形状や入力電源の仕様が一部異なる場合があります。