中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスにおいてプラズマを発生および維持するために設計された高周波電源（RFジェネレーター）です。主に半導体製造や電子部品・光学部品の製造におけるスパッタリング装置、プラズマCVD（化学気相成長）装置、ドライエッチング装置といった、薄膜形成および微細加工プロセスで広く活用されています。

発振周波数は、工業用プラズマプロセスで国際的に標準化されているISMバンドの13.56MHzを採用しており、最大出力1.25kW（1250W）の高周波電力を安定して供給することが可能です。出力インピーダンスは50Ωに設定されており、チャンバー内で変動するプラズマ負荷に対しては、外部のインピーダンスマッチングボックス（整合器）と組み合わせることで反射波電力を最小化し、効率的かつ安定した電力伝送を実現します。

プロセス中の急激な負荷変動に対しても設定出力を維持できる堅牢な制御回路を備えており、反射電力による装置へのダメージを防ぐ保護機能も搭載されています。外部インターフェースを通じた出力のモニタリングやリモート制御にも対応しており、小〜中規模の真空プラズマ装置における主電源として、研究開発用途から生産ラインまで幅広く対応できる仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz
・最大出力電力: 1.25 kW (1250 W)
・出力インピーダンス: 50 Ω
・主な適用プロセス: スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングなど
・出力接続: 同軸コネクタ出力
・入力電源: AC200V 3相 50/60Hz (※設置環境により要確認)
・付加機能: 進行波/反射波電力のモニタリング、外部リモート制御、出力保護機能