中古機 RF電源 SEREN製、型式R300のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置におけるプラズマエッチング、スパッタリング、プラズマCVDなどの真空プロセス用途に設計された、最大出力300Wの高周波（RF）電源です。発振周波数は13.56 MHz固定であり、水晶発振制御によってプラズマ生成に必要な電力を極めて安定して供給します。

筐体は高さ3U（約133mm）のハーフラックサイズで設計されており、限られたスペースでの装置組み込みやラックマウントが容易です。放熱機構には強制空冷方式を採用しているため、水冷用の冷却水配管を必要とせず、設備導入のハードルを下げつつ安定した連続稼働を実現します。

外部制御システムとの連携用として、アナログおよびデジタル入出力用の25ピンD-subコネクタに加え、RS-232シリアル通信ポートを標準搭載しています。これにより、上位ホストシステムやPLCからの出力設定、ステータス監視、インターロック制御を精密に行うことが可能です。高周波出力端子には産業用標準のType N（メス）コネクタを備え、出力インピーダンスは50Ωに最適化されています。インピーダンス整合器（オートマッチングネットワーク）と組み合わせることで、多様なプラズマチャンバーに対して効率的な電力伝送が可能な電源ユニットです。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：300 W
発振周波数：13.56 MHz
出力インピーダンス：50 Ω
出力コネクタ：Type N (メス)
発振方式：水晶発振制御
冷却方式：強制空冷
入力電源：AC 115 V / 230 V (単相, 50/60 Hz)
通信・制御インターフェース：25ピン D-sub (アナログ / デジタル), RS-232
外形寸法：約 216(W) × 133(H) × 432(D) mm (3U ハーフラックサイズ)
重量：約 12.7 kg