中古 RF電源
メーカー名
京三製作所 Kyosan
型式RFK30ZH
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
1,200,000円
【AIによる装置概要】
13.56MHzの高周波電力を作り、スパッタリング装置のカソードに送ってプラズマを立てるRFスパッタ用の電源。直流では放電を保てない絶縁物のターゲットも成膜できるため、酸化物や窒化物などの絶縁膜のスパッタに使われる。定格出力は3kW。
RFジェネレータ本体に、RFスパッタ電源コントローラーとRFマッチングボックスコントローラーをラックに収めた構成で、整合はマニュアルとオートを切り替えられ、整合位置とチューン位置を手動でも操作できる。成膜条件を詰めるときに、マッチングの状態を手で追い込める作りになっている。
定格出力3kWは現品のパネル表記「3kW RF GENERATOR」による。型式末尾のZHが指す冷却方式や入力電圧などの仕様はメーカーの公開資料に記載がなく、確認できていない。整合器(マッチングボックス)本体が付属するかは個体による。
【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・定格出力：3 kW
・種別：RFスパッタ電源(RFジェネレータ)
・構成：RFジェネレータ本体+RFスパッタ電源コントローラー+RFマッチングボックスコントローラー(ラック実装)
・整合制御：マニュアル/オート切替、整合位置とチューン位置を手動でも操作可能
・主な用途：RFスパッタリング(絶縁物ターゲットの成膜など)
※定格出力3kWは現品(管理番号Z250623012)のパネル表記「3kW RF GENERATOR」による
※型式末尾のZHが指す仕様(冷却方式・入力電圧など)はメーカー公開資料に記載がない
※整合器(マッチングボックス)本体が付属するかは個体による
13.56MHzの高周波電力を作り、スパッタリング装置のカソードに送ってプラズマを立てるRFスパッタ用の電源。直流では放電を保てない絶縁物のターゲットも成膜できるため、酸化物や窒化物などの絶縁膜のスパッタに使われる。定格出力は3kW。
RFジェネレータ本体に、RFスパッタ電源コントローラーとRFマッチングボックスコントローラーをラックに収めた構成で、整合はマニュアルとオートを切り替えられ、整合位置とチューン位置を手動でも操作できる。成膜条件を詰めるときに、マッチングの状態を手で追い込める作りになっている。
定格出力3kWは現品のパネル表記「3kW RF GENERATOR」による。型式末尾のZHが指す冷却方式や入力電圧などの仕様はメーカーの公開資料に記載がなく、確認できていない。整合器(マッチングボックス)本体が付属するかは個体による。
【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・定格出力：3 kW
・種別：RFスパッタ電源(RFジェネレータ)
・構成：RFジェネレータ本体+RFスパッタ電源コントローラー+RFマッチングボックスコントローラー(ラック実装)
・整合制御：マニュアル/オート切替、整合位置とチューン位置を手動でも操作可能
・主な用途：RFスパッタリング(絶縁物ターゲットの成膜など)
※定格出力3kWは現品(管理番号Z250623012)のパネル表記「3kW RF GENERATOR」による
※型式末尾のZHが指す仕様(冷却方式・入力電圧など)はメーカー公開資料に記載がない
※整合器(マッチングボックス)本体が付属するかは個体による