中古 RF電源
メーカー名
京三製作所 Kyosan
型式RFK30ZH
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
1,200,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセスにおけるプラズマ発生用に設計された高周波（RF）電源です。主にCVD（化学気相成長）、PVD（スパッタリング）、ドライエッチングなどの真空プロセス装置に接続され、プラズマの安定した生成と維持に不可欠な高周波電力を供給する役割を担います。
最大出力電力は3000W（3.0kW）であり、業界標準である出力インピーダンス50Ωの負荷に対して高い電力制御精度を発揮します。出力周波数はプラズマプロセスで広く利用される13.56MHzに設定されており、プロセスの安定性と再現性の向上に寄与します。また、高出力稼働時の発熱を効率的に処理するため、冷却方式には水冷式が採用されています。これにより、装置内部の温度上昇を抑制し、長時間の連続運転時でも安定したパフォーマンスを維持することが可能です。
産業分野での高度なプロセス要件に応える信頼性を備えており、研究開発機関での実験用途や、既存の生産ラインにおける予備機およびリプレイスメント用の電源として幅広く活用されるコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
出力周波数：13.56 MHz
最大出力電力：3000 W (3.0 kW)
出力インピーダンス：50 Ω
冷却方式：水冷
主な用途：プラズマ発生用 (CVD、PVD、エッチング装置など)
本装置は、半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセスにおけるプラズマ発生用に設計された高周波（RF）電源です。主にCVD（化学気相成長）、PVD（スパッタリング）、ドライエッチングなどの真空プロセス装置に接続され、プラズマの安定した生成と維持に不可欠な高周波電力を供給する役割を担います。
最大出力電力は3000W（3.0kW）であり、業界標準である出力インピーダンス50Ωの負荷に対して高い電力制御精度を発揮します。出力周波数はプラズマプロセスで広く利用される13.56MHzに設定されており、プロセスの安定性と再現性の向上に寄与します。また、高出力稼働時の発熱を効率的に処理するため、冷却方式には水冷式が採用されています。これにより、装置内部の温度上昇を抑制し、長時間の連続運転時でも安定したパフォーマンスを維持することが可能です。
産業分野での高度なプロセス要件に応える信頼性を備えており、研究開発機関での実験用途や、既存の生産ラインにおける予備機およびリプレイスメント用の電源として幅広く活用されるコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
出力周波数：13.56 MHz
最大出力電力：3000 W (3.0 kW)
出力インピーダンス：50 Ω
冷却方式：水冷
主な用途：プラズマ発生用 (CVD、PVD、エッチング装置など)