中古機 RF電源 アドバンスドエナジー　AE製、型式M/N　61300043のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセス、真空プラズマプロセスなどで広く使用される高周波（RF）電源です。主にプラズマCVD、エッチング、スパッタリングなどの薄膜形成および微細加工プロセスにおいて、チャンバー内に安定したプラズマを発生・維持させるための高精度なエネルギー源として機能します。

最大出力3000W（3kW）、工業用周波数として標準的な13.56MHzの発振仕様を持ち、インピーダンス50Ωの負荷に対して安定した高周波電力を供給します。プラズマインピーダンスの急激な変動に対しても高速に追従して出力を調整できるため、ミリ秒単位での精密なパワーコントロールが可能です。これにより、プロセスの再現性と製品の歩留まり向上に寄与します。

高出力時の排熱を効率的に処理するため、冷却システムには水冷式を採用しています。適正な水温と流量（約7.5 L/min）を確保することで、長時間の連続稼働でも内部回路の熱暴走を防ぎ、高い信頼性を保ちます。また、装置本体に備えられた各種通信インターフェースを通じたホストシステムとの連携により、遠隔からの出力設定、リアルタイムモニタリング、およびアラーム管理が容易に行える設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz
・最大出力電力: 3000 W (3 kW)
・負荷インピーダンス: 50 Ω
・入力電源: 200 / 208 VAC（許容範囲 180〜228 VAC）、3相、50/60 Hz
・冷却方式: 水冷式
・冷却水流量目安: 約 7.5 L/min (2.0 gpm)
・出力コネクタ: 同軸コネクタ（Type-HN または 7/16 DIN など）
・インターフェース: アナログI/O、RS-232、各種フィールドバス通信（構成による）
・外形寸法目安: 幅 約130 mm × 高さ 約180 mm × 奥行 約450 mm（突起部含まず）
・本体重量目安: 約 22 kg

※上記は当該シリーズにおける標準的な技術データに基づく参考仕様です。搭載されているオプション基板や製造時期の違いにより、インターフェースや一部の数値が実機と異なる場合があります。