中古機 RF電源 アルバック製、型式RFS-1330Lのご紹介

【AIによる装置概要】
スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDなどの装置で、真空槽の中にプラズマを立てるための高周波電力を供給するRF電源です。出力周波数は13.56 MHz、定格出力は3 kWで、電源は三相AC200/220V 50/60Hz 14Aを使います。
内部の発熱は冷却水で除く水冷方式で、冷却水は4L/minを流します。本体の質量は19 kgです。プラズマの負荷と電源の間には、インピーダンスを合わせるマッチングボックス(整合器)を入れて使うのが一般的です。
後継はRFS-Nシリーズ(RFS-1330N)で、整合器の制御を内蔵しています。出力コネクタの形状、制御インターフェース(アナログかシリアルか)、外形寸法は確認できていません。
【AIによる参考仕様】
・出力周波数：13.56 MHz
・定格出力：3 kW
・入力電源：三相AC200/220V 50/60Hz 14A
・冷却：水冷、4L/min
・質量：19 kg
・構成(掲載品)：本体+コントローラー
・後継シリーズ：RFS-Nシリーズ(RFS-1330N、整合器制御内蔵)
※数値は現品の銘板(RF GENERATOR RFS-1330L)から読んだ値。メーカーのRFS-Lシリーズ仕様表は現行サイトに無い
※出力コネクタ形状・制御インターフェース(アナログ/シリアル)・外形寸法は未確認
※マッチングボックス(整合器)は付かない(現品写真に写っているのは本体とコントローラーだけ)。コントローラーの型式は個体で確認のこと