中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125C-1のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、真空成膜や微細加工などのプラズマプロセス装置向けに設計されたソリッドステート型の高周波（RF）電源です。チャンバー内でプロセスガスを電離させ、安定したプラズマを発生・維持するための重要なエネルギー供給源として機能します。

国際的なISMバンド（産業・科学・医療用周波数帯）として指定されている13.56MHzの周波数で発振し、高精度かつリップルの少ない電力を供給します。出力インピーダンスは業界標準である50Ωの不平衡（アンバランス）仕様に設計されているため、外部のオートマッチングネットワーク（インピーダンス整合器）と同軸ケーブルで接続することで、プラズマ着火時やプロセス進行中のインピーダンス変動に対しても電力の反射を最小限に抑え、効率的な電力供給を実現します。

フロントパネルには進行波電力（Forward Power）および反射波電力（Reflected Power）を個別に監視できるメーターが搭載されており、オペレーターが直感的にプロセスの安定性を把握できる構造となっています。また、過大反射電力や内部の異常温度上昇を検知した際に瞬時に出力を遮断する保護回路（インターロック）を内蔵し、装置周辺機器へのダメージを未然に防ぎます。外部インターフェースを介したリモートコントロールにも対応しており、研究開発から量産ラインにおけるスパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングといった幅広い用途に組み込んで運用することが可能なユニットです。

【AIによる参考仕様】
・出力周波数：13.56 MHz
・出力インピーダンス：50 Ω（不平衡）
・発振方式：水晶発振方式によるソリッドステート駆動
・出力設定範囲：定格の数%〜100%（連続可変）
・監視機能：進行波電力（Forward）モニター、反射波電力（Reflected）モニター
・保護回路（インターロック）：過大反射電力保護、異常温度上昇保護、過電流・過電圧保護
・外部コントロールインターフェース：リモートON/OFF制御、アナログ信号による出力設定、ステータス信号出力
・RF出力コネクタ：N型 または 同等の同軸コネクタ
・主な適用プロセス：スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、プラズマアッシング装置のRFバイアスおよびメインプラズマ発生源