中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空成膜装置（スパッタリング装置、プラズマCVD装置）やドライエッチング装置などに組み込まれ、真空チャンバー内でプラズマを発生・維持させるために用いられる高周波（RF）電源です。半導体製造プロセスや電子部品の薄膜形成、表面処理などの工程において、プロセスの安定性に直結する高周波電力の供給を担います。

産業用プラズマプロセスで標準的に利用されるISMバンドの13.56MHzの発振周波数を採用しており、出力インピーダンスは一般的な50Ωに設計されています。出力電力は最大1.25kW（1250W）に対応しているため、基礎的な研究開発用途から中規模な生産プロセスの条件出しまで、多様な負荷環境下で運用可能なパワーを備えています。

通常、本装置を使用する際は自動または手動のインピーダンスマッチングボックス（整合器）と組み合わせて構成されます。これにより、プラズマ着火時やプロセス中のチャンバー内のインピーダンス変動に対しても反射電力を最小限に抑え、負荷へ効率的な電力供給を維持します。中古設備として検討・導入するにあたっては、入力電源の要件、冷却方式、および既存の整合器や同軸ケーブルのコネクタ規格との適合性を確認することが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・定格最大出力：1.25 kW (1250 W)
・出力インピーダンス：50 Ω
・主な用途：スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング等のプラズマ発生用
・必要周辺機器：インピーダンスマッチングボックス（整合器）、50Ω同軸ケーブル
・注意事項：同一シリーズ内に複数出力のモデルが存在するため、導入時は定格出力がプロセス要件を満たしているかご注意ください。また、出力コネクタの形状、外部コントロール用インターフェース、冷却方式（空冷または水冷）については製造年代やカスタマイズによって異なる場合があるため、現物の銘板や端子部を直接ご確認ください。