中古機 RF電源 アルバック　Ulvac製、型式RFS-1305A3のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、真空成膜装置や半導体製造プロセスにおけるプラズマ発生用途向けに設計されたソリッドステート方式の高周波（RF）電源です。主にスパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、アッシングなどのプロセスにおいて、真空チャンバー内に安定したプラズマを生成・維持するための電力供給を担います。

発振周波数は、工業用プラズマプロセスで標準的に用いられるISM帯域の13.56MHzを採用しており、定格出力は500Wとなります。全固体（ソリッドステート）回路構成により、放電時の急激な負荷変動に対しても高速かつ精度の高い出力制御が可能であり、プロセスの再現性と安定性の向上に寄与します。

出力インピーダンスは50Ωに設計されています。運用時は専用のインピーダンス整合器（オートマッチングボックス）と組み合わせることで、負荷側からの反射波を最小限に抑え、効率的に高周波電力を伝送する仕組みです。冷却には強制空冷方式が採用されており、生産設備への組み込みやラックマウントでの運用において取り扱いが容易な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
発振周波数：13.56MHz
定格出力：500W
出力インピーダンス：50Ω
発振方式：水晶発振・ソリッドステート方式
出力安定度：±2%以内
RF出力コネクタ：N型（メス）
冷却方式：強制空冷
主な用途：スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング等のプラズマ発生用電源