中古機 RF電源 アルバック　Ulvac製、型式RFS-05Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスにおいてプラズマを発生・維持させるために使用される高周波（RF）電源です。工業用周波数（ISMバンド）である13.56MHzの電力を供給し、定格最大出力は500Wとなります。主にスパッタリング装置、プラズマCVD装置、ドライエッチング装置、アッシング装置など、半導体や電子部品製造における真空装置のプラズマ発生源として組み込まれます。

水晶発振器の採用により高精度な周波数安定性を保ち、出力電力を細かく制御できるため、プロセスの要求に応じた安定したプラズマ放電環境を構築できます。プラズマプロセスでは負荷側のインピーダンスが変動しますが、専用の自動整合器（マッチングボックス）と接続することでインピーダンスを50Ωに整合させ、反射電力を最小限に抑えた効率的な電力伝送を実現します。

本モデルは500Wクラスの出力を持つため、研究開発（R&D）用の小型チャンバーから小規模な生産用装置まで幅広く対応します。また、強制空冷方式を採用しているため冷却水配管設備への接続が不要であり、装置への組み込みや設置レイアウトの自由度が高い設計となっています。インターロック機能や外部制御用インターフェースも備えており、真空装置側のシステムと連動した安全かつ確実な運転をサポートします。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz
・最大定格出力: 500 W
・出力インピーダンス: 50 Ω
・冷却方式: 強制空冷
・高周波出力コネクタ: N型同軸コネクタ
・主用途: スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマプロセス用電源
・運用条件: 反射電力を抑えるため、専用のインピーダンス整合器（マッチングボックス）との組み合わせが必須