中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングといった真空プラズマプロセス向けに設計された高周波（RF）電源です。半導体や電子部品の製造工程、または研究開発における各種表面処理において、安定したプラズマを発生・維持するための電力供給源として機能します。

発振周波数は、工業・科学用途（ISMバンド）で標準的に用いられる13.56MHzを採用し、出力インピーダンスは50Ωに最適化されています。外部の自動整合器（マッチングボックス）と連携して使用することで、真空チャンバー内のガス圧やプラズマ密度の変化に伴う負荷インピーダンスの変動に対して反射電力を最小限に抑え、対象プロセスへ進行波電力を効率的に供給します。

本機は高精度な出力制御回路を搭載しており、微小な電力設定から定格出力まで安定した高周波出力を維持します。また、異常放電（アーキング）による突発的な負荷変動や、反射電力の急増、内部温度の異常上昇から装置本体および接続機器を保護するための各種インターロック回路を備えています。長時間の連続稼働が求められる過酷な生産環境下でも、安定性と高い信頼性を発揮する堅牢な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・最大出力電力：1250 W（1.25 kW）
・出力インピーダンス：50 Ω（不平衡）
・出力制御方式：進行波電力制御
・出力安定度：±1% 以内（定格出力時、負荷50Ωにおいて）
・高周波出力コネクタ：N型 または 7/16 DIN型同軸コネクタ
・保護機能：過反射電力保護、過電流・過電圧保護、過熱保護、異常放電保護回路
・外部制御：アナログ・デジタル入出力I/O端子によるリモートコントロール対応
・冷却方式：強制空冷 または 水冷

※上記は同シリーズの標準的な仕様データに基づく参考値です。導入の際は、現品の銘板表記および実機の状態、付属の取扱説明書を必ずご確認ください。