中古機 RF電源 アドテック　ADTEC製、型式AX-2000のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や液晶パネル製造におけるプラズマエッチング、プラズマCVD、スパッタリングなどの成膜・表面処理プロセスで広く利用される高周波（RF）電源です。発振周波数には工業用のISMバンドである13.56MHzを採用しており、最大2000W（2kW）の出力電力をプラズマ負荷に対して安定して供給します。

出力インピーダンスは標準的な50Ωに設計されており、外部のインピーダンス・マッチングネットワーク（自動整合器）と連携させることで、プラズマ着火時の急激な負荷変動や放電中のインピーダンス変化に対しても、反射波を最小限に抑えた効率的な電力伝送が可能です。独自の回路設計により高効率かつ高精度な電力制御を実現しており、厳密な出力安定性が要求されるプロセスにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

長時間の連続稼働が前提となる量産ラインから、精密なプラズマ制御が必要な研究開発用途まで幅広く適応する設計です。また、装置本体やシステムの損傷を防ぐため、過反射電力（リフレクト）、過電流、過電圧、内部の異常温度上昇などを瞬時に検知して出力を遮断する各種インターロック（保護機能）を標準で内蔵しています。

【AIによる参考仕様】
発振周波数：13.56 MHz
最大出力電力：2000 W (2 kW)
出力インピーダンス：50 Ω
出力電力安定度：±1% F.S. 以内
入力電源：三相 AC 200V〜220V, 50/60 Hz
冷却方式：強制空冷（※モデル構成により水冷の場合あり）
高周波出力コネクタ：HN型 または N型（背面パネル）
保護・インターロック機能：過反射電力、過大電流、過電圧、異常温度上昇検知
外部制御インターフェース：アナログ / デジタル I/O ピンコネクタ

※上記は同シリーズの標準的なデータに基づく参考仕様です。製造時期やオプション構成により、搭載コネクタや冷却方式などの一部仕様が実機と異なる場合があります。