中古機 RF電源 アルバック　Ulvac製、型式RFS-1305A3のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、スパッタリングやプラズマCVD、ドライエッチングなどの真空プラズマプロセスにおいて、安定した放電を発生・維持するためのソリッドステート式高周波電源です。定格出力は500Wを備え、発振周波数はプラズマプロセスで最も一般的に用いられる13.56MHzを採用しています。

出力インピーダンスは50Ωに設計されており、本構成に付属するオートマッチングボックス（自動整合器）と連動することで、チャンバー内のプラズマ状態の変化に伴うインピーダンス変動を自動的に検知します。これにより、反射波電力を最小限に抑え、ロード側への高効率で安定した電力供給を実現します。

また、装置や接続機器のダメージを防ぐため、過反射、過電流、温度異常などを即座に検知するインターロック（保護回路）機能を標準搭載しており、長時間の連続稼働においても高い安全性を確保します。研究開発における実験用途から小・中規模の生産ラインまで、各種真空装置のプラズマソースとして幅広く組み込みが可能な、信頼性と汎用性に優れたモデルです。

【AIによる参考仕様】
発振周波数：13.56MHz
定格出力電力：500W
出力インピーダンス：50Ω
発振方式：水晶発振・ソリッドステート方式
冷却方式：強制空冷
付属機器：オートマッチングボックス
主な保護機能：過反射電力、過電流、過熱検知
質量：約19.5kg（電源本体）