中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
13.56MHzの高周波電力を作り、整合器を通して真空容器の電極へ送ってプラズマを立てるRF電源。スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDなどの装置に組み込むラックマウント形で、本体とRF P.S.コントローラPSC-111で構成される。
出力周波数は水晶発振の13.56MHz(精度±2.0kHz以下)、定格出力電力は連続1.2kWで、0〜1.2kWの範囲で制御できる。制御は入力電力による定電力制御(CONSTANT POWER)と、外部の検出信号を使うELECTRODE SENSINGを選べ、出力の制御精度は設定値に対して最大定格の±2%以内。出力インピーダンスは50Ω。出力はコントローラのUP・DOWNキーのほか外部の0〜10Vでも設定でき、入射電力(0〜1.2kW)と反射電力(0〜240W)をDC0〜10Vで外へ出す。反射電力が250W以上にならないよう入射電力を絞る保護を持つ。交流入力は三相4線式200V±10% 50/60Hz・2.6kVA、冷却は強制風冷、本体の外形寸法は480W×480D×300Hmm。
整合器(マッチングボックス)は含まない。
【AIによる参考仕様】
・出力周波数：13.56(水晶発振、精度±2.0kHz以下) MHz
・定格出力電力：1.2(制御範囲0〜1.2kW) kW
・定格：連続
・制御方式：入力電力による定電力制御(CONSTANT POWER)/外部検出信号によるELECTRODE SENSING
・出力制御精度：設定値に対して最大定格の±2%以内(進行波電力精度±5%以内)
・出力インピーダンス/コネクタ：50Ω、HN型同軸コネクタ
・出力設定：TUNE/REMOTE(外部0〜10V)/LOCAL(コントローラのUP・DOWNキー)
・外部出力信号：入射電力0〜1.2kW、反射電力0〜240WをDC0〜10Vで出力
・反射電力保護：反射電力が250W以上にならないよう入射電力を制御
・交流入力：三相4線式 200V±10% 50/60Hz、入力容量2.6kVA
・冷却：強制風冷
・形式：ラックマウント形。本体(PRF-125C)+RF P.S.コントローラ(PSC-111)
・使用環境：+5〜+40℃、35〜85%
・外形寸法(本体)：480W×480D×300H mm
・外形寸法(コントローラPSC-111)：209W×48D×100H mm
※数値は社内保管のアネルバ取扱説明書(VT-396-074、1989〜1992年版)による
※質量は取説に記載なし。整合器(マッチングボックス)は含まない
※外部OSC(発振器)入力はオプション