中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜プロセス（スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングなど）において、プラズマを安定して発生・維持するための高周波電力を供給する電源装置です。工業用途として標準的な発振周波数である13.56MHzを採用しており、真空チャンバー内に導入された反応ガスを効率よく電離させるためのエネルギー源として機能します。

内部回路には高精度な水晶発振器が組み込まれており、プラズマ着火時やプロセス中の負荷変動に対しても、安定した周波数と電力を維持する設計となっています。通常は50Ωの出力インピーダンスを持ち、専用の自動整合器（オートマッチングボックス）と連動させることで、プラズマ放電時に発生する反射波電力を最小限に抑え、チャンバー側への電力伝達効率を最適化します。フロントパネルには進行波（Forward）および反射波（Reflected）の電力値を表示するメーターが搭載されており、リアルタイムでの出力監視が可能です。

また、装置およびシステムの安全性を確保するため、過大な反射波の増大、過電流、内部の異常温度上昇などを検知した際に、即座に出力を制限または遮断する保護回路（インターロック機能）を備えています。これにより、長時間の連続運転や高負荷なプロセス条件下でも、安定性と耐久性を保つ構造となっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz (水晶発振制御)
・定格最大出力: 1250 W (1.25 kW)
・出力インピーダンス: 50 Ω
・高周波出力コネクタ: 同軸コネクタ
・モニタリング機能: 進行波電力計、反射波電力計
・保護回路（インターロック）機能:
　- 反射波過大保護
　- 過電流・過電圧保護
　- 内部温度異常上昇保護
・冷却方式: 強制空冷 または 水冷方式

※上記は当該シリーズに基づく参考仕様です。マイナーチェンジやオプション構成により、コネクタ形状や冷却方式などの一部仕様が実機と異なる場合があります。