中古機 RF電源 新電元工業製、型式XR-P1330のご紹介

【AIによる装置概要】
13.56MHzの高周波電力を作り、整合器を通して真空容器の電極へ送ってプラズマを立てるRF電源(RF GENERATOR)。スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVD、アッシングなど、プラズマを使う半導体・電子部品の製造装置や研究用の成膜・エッチング装置に組み込んで使われる。
出力周波数は13.56MHz、出力は3kWで、前面にも13.56MHz 3kW RF GENERATORの表記がある。仕様記号はN-Iで、Group13(A)の表示が付く。プラズマのインピーダンスはガスの種類や圧力、電力で変わるため、電源と電極の間には整合器(マッチングボックス)を入れて電源の出力に合わせ、電源へ戻る反射電力を抑えて使う。
入力電源・寸法・質量・冷却方式は公式資料が無く、確かめられていない。組み合わせる整合器と制御の信号は、装置の構成と現品で確かめる必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：プラズマ用RF電源(RF GENERATOR)
・周波数：13.56 MHz
・出力：3 kW
・仕様記号：N-I(Group13(A) 表示)
※値は現品前面の表記(13.56MHz 3kW RF GENERATOR)と掲載の仕様欄から。入力電源・寸法・質量は公式資料が無く未確認。