中古機 RF電源 新電元工業製、型式XR-P1330のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、各種真空成膜・表面処理装置などにおいて、プラズマを発生および維持させるために用いられる高周波電源です。発振周波数はISMバンドである13.56MHzに設定されており、最大出力電力3kWの基本性能を有しています。主にプラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチング、アッシングといったプロセスにおける安定した電力供給源として幅広く適用されます。

出力インピーダンスは高周波伝送において標準的な50Ωに設計されており、外部のインピーダンスマッチングボックス（自動整合器）と組み合わせて使用することで、プロセス中の負荷変動に対しても高精度かつ高速な電力供給を行います。高周波出力の安定性は成膜やエッチングのプロセス品質に直結するため、厳密なフィードバック制御機構を備え、長時間の連続稼働時においても出力変動（定格の±1%以内等）を最小限に抑えることが可能です。

また、出力3kWクラスの高出力装置であるため、内部の電力増幅部や電源回路で生じる発熱を効率的に除去するための水冷方式を採用しています。これにより、クリーンルーム環境下での熱放出を抑え、装置の信頼性を高めています。外部インターフェースを介したホストシステムからの遠隔制御やモニタリングにも対応しており、プロセス自動化に適した産業用スペックとなっています。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数: 13.56 MHz（水晶発振制御による高精度維持）
・最大出力電力: 3000 W（3 kW）
・出力設定範囲: 0 ～ 3000 W（連続可変）
・出力インピーダンス: 50 Ω（不平衡）
・出力電力安定度: ±1 % 以内
・冷却方式: 水冷式
・入力電源: 三相 AC200 V 系（50/60 Hz）
・主な保護機能: 過反射電力保護（リミッタ機能）、過電流・過電圧保護、過熱保護、冷却水異常（流量低下など）に対するインターロック機能
・制御方式: フロントパネルによる手動操作、および外部インターフェース（アナログ/デジタル制御信号）によるリモート制御

※上記は同クラスの標準的なデータに基づく参考仕様です。実際の搭載装置向けのカスタム仕様や製造年代により、入出力コネクタの形状、背面ピンアサイン、インターロックの詳細条件などが異なる場合があります。実運用に際しては結線状況等をご確認ください。