中古機 RF電源 森エンジニアリング製、型式SA3090のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種真空プロセス（プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチングなど）において、チャンバー内に安定したプラズマを発生・維持するために使用される高周波（RF）電源です。発振周波数はプラズマプロセスで標準的に利用されるISMバンドの13.56MHzを採用しており、ガスの電離効率と放電の安定性に優れた高周波電力を供給します。

本機は「306-B」システムの専用または組み込み用として設計されており、対応するインピーダンス整合器（オートマッチングボックス）や制御ユニットと連携することで、プロセス中の負荷変動に対しても迅速に追従します。出力インピーダンスは業界標準である50Ωに設定されているため、既存の標準的な同軸ケーブルや計測機器との接続互換性が確保されています。

内部回路には、負荷側からの反射波が増大した際にアンプ部を保護するVSWR（電圧定在波比）保護機能や、過電流、異常温度上昇を検知して出力を遮断するインターロック機能が搭載されています。これにより、プラズマの着火不良や突発的なインピーダンス変動が発生した場合でも、機器の致命的な破損を未然に防ぐ構造となっています。中古機器としてシステムに組み込む際は、対象となる306-B側との制御信号（I/O）のピンアサイン、および冷却要件の確認が必要です。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・出力インピーダンス：50 Ω（不平衡）
・周波数安定度：±50 ppm（±0.005%）以内
・適合・用途：306-B用システム向け
・高周波出力端子：N型同軸コネクタ（標準的なRFインターフェース）
・保護機能：過反射電力保護（VSWR異常遮断）、過電流保護、温度異常保護（サーマルシャットダウン）
・冷却方式：強制空冷 または 水冷（※筐体仕様に依存）
・制御方式：外部アナログ/デジタル信号によるリモートコントロール対応

※上記は同周波数帯の関連モデル仕様に基づく参考値を含みます。公式の技術資料等において複数モデルの仕様が併記されている特性上、具体的な定格出力（W）、入力電源電圧（AC100V/200V等）、外形寸法および重量はサブモデルによって異なる場合があります。導入にあたっては、実機背面の銘板に記載された定格値およびコネクタ形状を必ず直接ご確認ください。