中古機 RF電源 アネルバ　ANELVA製、型式PRF-125Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、アッシングなどの各種真空プロセスにおいて、安定したプラズマを発生・維持させるために使用される高周波電源（RFジェネレーター）です。工業用ISMバンドとして標準的な発振周波数13.56MHzを採用しており、最大出力は1250W（1.25kW）となります。発振回路には水晶発振器を搭載しているため、高い周波数安定度を誇り、長時間の連続稼働が求められる成膜プロセスやエッチングプロセスにおいても、出力の揺らぎを最小限に抑えます。

フロントパネルには進行波電力（Forward）および反射波電力（Reflected）を監視するための電力計が配置されており、プロセス中の出力状態をリアルタイムで確認することが可能です。また、プラズマ着火時の負荷変動や、マッチングネットワーク（整合器）の不整合によって生じる過大な反射波から内部回路を保護するインターロック機能（過反射波保護回路）を標準搭載しています。これにより、負荷側の急激なインピーダンス変動に対しても安全に運用できる堅牢な設計となっています。出力インピーダンスは業界標準の50Ωに最適化されており、外部のマッチングボックスと組み合わせることで、真空チャンバー内のプラズマ負荷へ効率的に高周波電力を伝送します。研究開発用途から生産ラインのプラズマ源まで、幅広い真空装置システムへの組み込みに適した電源ユニットです。

【AIによる参考仕様】
・発振周波数：13.56 MHz
・周波数安定度：±0.005％以内（水晶発振制御）
・定格最大出力：1250 W（1.25 kW）
・出力可変範囲：0 ～ 1250 W（連続可変）
・出力インピーダンス：50 Ω
・メーター表示：進行波電力（Pf）、反射波電力（Pr）
・保護回路：過反射波保護、過電流保護、異常温度上昇保護（インターロック機能）
・主な用途：高周波マグネトロンスパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、プラズマクリーニング等の高周波励起源