中古マスフローコントローラー・流量計の在庫・価格

マスフローコントローラー・流量計は、半導体製造装置や成膜装置、研究用の真空装置で、ガスや液体の流れを測り、決めた量に制御するための機器の分野である。中心になるのはマスフローコントローラー(MFC)で、温度や圧力が変わっても質量流量として一定のガスを送り込めるため、プロセスの再現性を支える要の部品になっている。多くは気体の熱の運ばれ方から流量を求める熱式で、センサー管を流れるガスが上流側の熱を下流側へ運ぶ量から質量流量を求める。
この分野の機器は役割で大きく三つに分けられる。一つ目は流量を制御する物で、センサーと制御弁を一体にしたMFCや、より簡単なフローコントローラーがこれにあたる。二つ目は流量を測るだけの物で、制御弁を持たないマスフローメーター、液体の流量を配管の外や内から測る超音波流量計、管の振動から質量流量を直接求めるコリオリ式質量流量計がある。三つ目は周辺の機器で、MFCに電源を与えて設定と表示を行うマスフローコントローラー電源や表示器、流れの有無を接点で知らせるフロースイッチ、液体原料を気化して送る気化器のコントローラーがある。
実際の装置では、ガス一系統ごとにMFCとストップバルブ、フィルターなどを並べたガスユニットを組み、装置のコントローラーから設定値を与えて使う。単体の実験装置では、MFC電源や表示器を介して手元で流量を設定する使い方が多い。冷却水の流れを監視するフロースイッチは、電源や電極を守るインターロックとして装置の各所に付く。液体原料を使うCVDなどでは、液体の流量を制御したうえで気化器で気体にし、配管を加熱して凝縮を防ぎながらチャンバーへ送る構成になる。
もう一つの柱が、流量を確かめるための機器である。MFCの表示値が実際の流量とずれていないかを現場で確かめるマスフローチェッカーや、一定体積を膜が通過する時間から流量を求める精密膜流量計は、校正や点検の基準として使われる。流量計のなかには、流れの一部を分けて測るための分流器のように、測定範囲を広げる付属の部品もある。
選び分けの起点は、扱う流体が気体か液体か、流量を制御したいのか測るだけでよいのか、の二つである。気体を一定量流したいならMFC、流れを監視するだけならマスフローメーターやフロースイッチ、液体の流量ならコリオリ式や超音波流量計、液体原料を気体にして送るなら気化器と液体用の流量制御器、という見当になる。そのうえでガス種とフルスケール流量、信号の形、継手を装置に合わせて絞り込む。