中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-260
年式表記：
仕様:ガスPH3 流量500SCCM W130 D25 H110
仕様:ガスPH3 流量500SCCM W130 D25 H110
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいて広く活用されているアナログ方式のマスフローコントローラーです。毒性・可燃性を持つ特殊材料ガスであるホスフィン（PH3）に対応しており、最大500 SCCMまでのガス流量を高精度に計測・制御します。外形寸法は、面間長（継手端面間）130 mm、幅25 mm、高さ110 mmとコンパクトな設計になっており、既存のガス供給パネルや装置への統合がスムーズに行えます。制御には標準的な±15 VDCの駆動電源と0〜5 VDCの入出力信号が用いられ、安定したバルブ応答性とガス制御性能を維持します。中古機器として導入を検討される際は、接ガス部の洗浄履歴、動作電圧、および継手形状の詳細について事前に確認することをお勧めします。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**：ホスフィン（PH3）
* **最大流量レンジ**：500 SCCM
* **外形寸法**：W130 mm × D25 mm × H110 mm（面間130 mm）
* **制御方式**：アナログ制御
* **入出力信号**：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC
* **シール構造**：エラストマー（フッ素ゴム等）
* **継手規格**：1/4インチ
* **制御バルブ形態**：常閉（Normally Closed）※一般的な標準仕様による
* **流量精度**：フルスケールの±1.0%（参考値）
* **再現性**：±0.2%（参考値）
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいて広く活用されているアナログ方式のマスフローコントローラーです。毒性・可燃性を持つ特殊材料ガスであるホスフィン（PH3）に対応しており、最大500 SCCMまでのガス流量を高精度に計測・制御します。外形寸法は、面間長（継手端面間）130 mm、幅25 mm、高さ110 mmとコンパクトな設計になっており、既存のガス供給パネルや装置への統合がスムーズに行えます。制御には標準的な±15 VDCの駆動電源と0〜5 VDCの入出力信号が用いられ、安定したバルブ応答性とガス制御性能を維持します。中古機器として導入を検討される際は、接ガス部の洗浄履歴、動作電圧、および継手形状の詳細について事前に確認することをお勧めします。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**：ホスフィン（PH3）
* **最大流量レンジ**：500 SCCM
* **外形寸法**：W130 mm × D25 mm × H110 mm（面間130 mm）
* **制御方式**：アナログ制御
* **入出力信号**：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC
* **シール構造**：エラストマー（フッ素ゴム等）
* **継手規格**：1/4インチ
* **制御バルブ形態**：常閉（Normally Closed）※一般的な標準仕様による
* **流量精度**：フルスケールの±1.0%（参考値）
* **再現性**：±0.2%（参考値）