中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-310
年式表記：
仕様:ガス:20%SiH4/He 流量:2LM
仕様:ガス:20%SiH4/He 流量:2LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、信頼性の高い熱式流量センサ技術と、応答性に優れたソレノイド駆動アクチュエータを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。
本個体は、半導体製造プロセス等で広く用いられる特殊材料ガス「20%SiH4/He（シラン・ヘリウム混合ガス）」専用として校正されており、最大流量（フルスケール）は「2 LM（2 L/min）」仕様となっています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による高精度な流量制御が可能で、優れた再現性と安定性を発揮します。堅牢な構造とフッ素ゴムによる確実なシール性能を備えており、既存のアナログ流量制御ラインのリプレイスメント用や研究開発用プロセスラインへの導入に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: 20%SiH4 / He（シラン20%／ヘリウムバランス）
* **流量レンジ（フルスケール）**: 2 LM (2 L/min)
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S. 以内
* **再現性**: ±0.2% F.S. 以内
* **応答時間**: 5秒以内（設定値に対し±2% F.S.以内への到達時間）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa ～ 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部リークレート**: 1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec 以下（Heガスにて）
* **動作周囲温度**: 5℃ ～ 45℃
* **接ガス部主要材質**: ステンレス鋼（SUS316、SUS316L）、フッ素ゴム（シール部）
* **流量設定・出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）
* **バルブ動作形式**: 常時閉（Normally Closed）
本機は、信頼性の高い熱式流量センサ技術と、応答性に優れたソレノイド駆動アクチュエータを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。
本個体は、半導体製造プロセス等で広く用いられる特殊材料ガス「20%SiH4/He（シラン・ヘリウム混合ガス）」専用として校正されており、最大流量（フルスケール）は「2 LM（2 L/min）」仕様となっています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による高精度な流量制御が可能で、優れた再現性と安定性を発揮します。堅牢な構造とフッ素ゴムによる確実なシール性能を備えており、既存のアナログ流量制御ラインのリプレイスメント用や研究開発用プロセスラインへの導入に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: 20%SiH4 / He（シラン20%／ヘリウムバランス）
* **流量レンジ（フルスケール）**: 2 LM (2 L/min)
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S. 以内
* **再現性**: ±0.2% F.S. 以内
* **応答時間**: 5秒以内（設定値に対し±2% F.S.以内への到達時間）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa ～ 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部リークレート**: 1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec 以下（Heガスにて）
* **動作周囲温度**: 5℃ ～ 45℃
* **接ガス部主要材質**: ステンレス鋼（SUS316、SUS316L）、フッ素ゴム（シール部）
* **流量設定・出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）
* **バルブ動作形式**: 常時閉（Normally Closed）