中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスのドライエッチング工程などで広く用いられるCHF3（トリフルオロメタン）ガスに対応した熱式マスフローコントローラーです。最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様を持ち、ガスの質量流量を安定して精密に計測・制御します。

内部に搭載された熱式センサー、バイパス、および電磁式のコントロールバルブにより、外部から入力されるアナログ設定信号（一般的には0〜5 VDC）に対して高速かつ正確に追従し、設定された流量を維持します。温度や圧力の変動に影響されにくい質量測定方式のため、プロセスの再現性向上に寄与します。±15 VDCの外部電源駆動によるアナログインターフェースを採用しており、旧世代の製造装置の保守パーツや、実験室におけるマニュアル制御系への組み込みに適しています。

【AIによる参考仕様】
- 対応ガス：CHF3（トリフルオロメタン）
- 制御流量：最大 100 SCCM
- 制御方式：熱式質量流量計測・電磁バルブによる閉ループ制御
- 流量設定信号（入力）：0～5 VDC（代表値）
- 流量出力信号（モニター）：0～5 VDC（代表値）
- 駆動電源：±15 VDC（代表値）
- 流量制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
- 再現性：±0.2% F.S.
- 応答時間：約1～2秒（最終目標値の98%到達まで）
- バルブ動作形式：ノーマリークローズ（非通電時閉）
- 外形寸法：W150 × D40 × H180 mm（継手・突起部含む）
- 配管接続口径：1/4インチ（継手形状は現物優先）

※上記仕様は、同系列モデルの一般的な仕様に基づく参考値です。実際のピンアサインや内部シール材質、継手規格等の詳細は実機の個体差をご確認ください。