中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスAr 流量200SCCM
W130 D40 H170 - 管理番号
- Z21080237
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D40 H170 mm |
FC-D980C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
※Dシリーズは同名の新しい「FC-DR980」(液晶付きのデジタルMFC/MFM)とは別物。本機はDサブ20ピンのみで表示器を持たない。
出典: メーカー資料
Aera FC-D980C の装置概要 AIによる記述です
半導体製造装置などのガス供給ラインに組み込み、プロセスガスの質量流量を設定値に合わせて計測・制御するマスフローコントローラーです。流量センサーの出力をマイコンで処理して制御バルブの開度を調整する、デジタル制御方式を採用しています。バルブは常閉(ノーマリクローズ)で、制御信号が入っていない状態ではガスの流れを遮断します。フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLMの範囲から設定され、実際に流すガスの種類に合わせて校正して使います。
配管接続は標準で1/4"VCR継ぎ手です。ベース金具が付いており、全方向に取り付けられます。上位機器との信号のやり取りには20ピン Dサブコネクターを使い、前面には赤・緑2個の状態表示LEDがあります。掲載品はHe、Ar、SF6、CF4、CHF3、Cl2用で、流量は100SCCMまたは200SCCMです。エッチング装置や成膜装置のガスボックスなどで使われる種類のガスです。
なお、名称の近い「FC-DR980」は液晶表示付きのデジタルMFC/MFMで、別の製品です。本型式は表示器を持たず、外部接続はDサブ20ピンのみです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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